公开(公告)号：CN118914228A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202410885973.1

申请日：2024-07-03

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 张韬 ,  张卫建 ,  丰晓雨 ,  周良全 ,  王吉祥

IPC: G01N21/95 ,  G02B27/28 ,  H01L21/66 ,  G01N21/01 ,  G01B11/02 ,  G01B11/00 ,  G01B11/26

Abstract: 一种具有二维角度测量调整的大量程调焦系统，涉及光学精密测量技术领域。实验台上方安装二维电动旋转位移台，测量传感器安装在二维电动旋转位移台上，激光器发射平行偏振光经过扩束器和分束镜分为偏心光束和同轴光束，同轴光束通过偏振分光镜反射后经过1/4波片，与偏心光束共同经过主物镜聚焦于被测物体表面，偏心光束镜面反射经过主物镜后通过反射镜进行反射，之后通过探测物镜聚焦在CCD面阵探测器上，同轴光束原路反射经过主物镜后，经1/4波片再透射通过偏振分光镜作用在四象限探测器上。能够同时进行角度测量调整以及更好的进行Z轴位移变化的测量，对光路进行多次利用降低了元件的数量，有助于控制系统的尺寸，更好的集成化。