公开(公告)号：CN117990940A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202410142059.8

申请日：2024-02-01

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 白岩 ,  王纪超 ,  于华洋 ,  徐凯宏 ,  赵永辉 ,  颜世运 ,  林双 ,  张慧斌 ,  田赫

IPC: G01P15/03 ,  G01P15/097

Abstract: 本发明公开了一种基于十字形谐振腔的单轴加速度传感器，属于光学器件技术领域，包括基底层、金属层、矩形波导、十字形谐振腔、金属薄板和金属块；本发明构建了一个由十字形谐振腔与直波导耦合而成的波导结构，在谐振腔内激发出表面等离激元共振，当加速度变化时，十字形谐振腔内的金属块使金属薄板弯曲，从而导致表面等离激元共振的移动，通过检测共振波长的变化，即可测量加速度的大小和方向。本发明具有结构简单、抗干扰能力强、测量范围大的优点，在汽车制造、地震监测、飞行器导航等领域具有广泛的潜在应用价值。