公开(公告)号：CN106872069B

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201611221680.5

申请日：2016-12-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 凌秀兰 ,  田二明 ,  刘晓凤 ,  颜兵 ,  王高

IPC: G01K11/00

Abstract: 本发明提供一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量方法，步骤是：(1)、调整光路：使得波长为λ1的激光辐照在待测样品上；(2)、通过透镜的移动调节结构，使波长为λ1的激光辐照在待测样品上有合适的光斑大小；(3)、进行纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤的测量：启动第一激光器、第二激光器、移动平台、能量计及CCD在线损伤判断装置判断待测样品是否出现损伤；(4)、进行损伤过程中表面温度的测量：CCD在线损伤判断装置，启动第三激光器，使波长为λ3的探测激光与波长为λ1的主激光有一定的角度辐照在待测样品上，同时调节两个Si雪崩光电二极管探测器和示波器，记录待测样品表面的热反射信号，以确定样品表面在主激光辐照下损伤破坏过程中的温度变化。

公开(公告)号：CN106872069A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201611221680.5

申请日：2016-12-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 凌秀兰 ,  田二明 ,  刘晓凤 ,  颜兵 ,  王高

IPC: G01K11/00

CPC classification number: G01K11/006

Abstract: 本发明提供一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量方法，步骤是：(1)、调整光路：使得波长为λ1的激光辐照在待测样品上；(2)、通过透镜的移动调节结构，使波长为λ1的激光辐照在待测样品上有合适的光斑大小；(3)、进行纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤的测量：启动第一激光器、第二激光器、移动平台、能量计及CCD在线损伤判断装置判断待测样品是否出现损伤；(4)、进行损伤过程中表面温度的测量：CCD在线损伤判断装置，启动第三激光器，使波长为λ3的探测激光与波长为λ1的主激光有一定的角度辐照在待测样品上，同时调节两个Si雪崩光电二极管探测器和示波器，记录待测样品表面的热反射信号，以确定样品表面在主激光辐照下损伤破坏过程中的温度变化。

公开(公告)号：CN106872068A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201611221679.2

申请日：2016-12-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 凌秀兰 ,  颜兵 ,  刘晓凤 ,  田二明 ,  王高

IPC: G01K11/00

CPC classification number: G01K11/006

Abstract: 本发明提供一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置，测量装置包含激光系统，一个位于由计算机控制的移动平台上的待测样品，CCD在线损伤判断装置以及测量热反射信号的两个Si雪崩光电二极管探测器和一个示波器；使用两束不同激光，一束是纳秒脉冲主激光，辐照光学薄膜诱导光学薄膜损伤，另一激光为探测激光，与主激光成一定角度射到样品表面，通过实时检测探测激光在光学薄膜表面的热反射信号来测量光学薄膜在主激光诱导的损伤过程中温度的实时变化。可以实时测量纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤过程中表面的温度，为纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤机理的确定提供实验依据。

公开(公告)号：CN106768889A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611221731.4

申请日：2016-12-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 凌秀兰 ,  刘晓凤 ,  田二明 ,  颜兵 ,  王高

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/02

Abstract: 本发明公开一种真空环境下光学薄膜激光损伤阈值测试装置及方法，它涉及光学薄膜激光损伤测试技术领域。它包含真空系统，激光系统，移动平台，待测样品以及高速CCD相机在线损伤判断装置；使用具有一定能量密度的一串序列激光脉冲辐照待测薄膜样品的不同测试点，确定并记录下每个测试点的损伤状态，如果出现等离子闪光则说明损伤，如果没出现则说明没有损伤，计算出该能量密度下的损伤几率；特别是在低能量密度下等离子闪光较弱的情况下，使激光能量密度缓慢变化，则不出现等离子闪光的最大的激光能量密度即为该待测薄膜的激光损伤阈值。它能有效快速的测量真空环境下光学薄膜的损伤阈值。

公开(公告)号：CN106872068B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201611221679.2

申请日：2016-12-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 凌秀兰 ,  颜兵 ,  刘晓凤 ,  田二明 ,  王高

IPC: G01K11/00

Abstract: 本发明提供一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置，测量装置包含激光系统，一个位于由计算机控制的移动平台上的待测样品，CCD在线损伤判断装置以及测量热反射信号的两个Si雪崩光电二极管探测器和一个示波器；使用两束不同激光，一束是纳秒脉冲主激光，辐照光学薄膜诱导光学薄膜损伤，另一激光为探测激光，与主激光成一定角度射到样品表面，通过实时检测探测激光在光学薄膜表面的热反射信号来测量光学薄膜在主激光诱导的损伤过程中温度的实时变化。可以实时测量纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤过程中表面的温度，为纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤机理的确定提供实验依据。