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公开(公告)号：CN110779448A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910886071.9
申请日：2019-09-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于涡旋光的双干涉式高帧频采样微位移测量方法，采用双声光外差干涉结构，在参考臂和测量臂中分别加入驱动频率不同的声光调制器，调整光束入射角度使其发生布拉格衍射，则一级衍射光干涉信号频率即为两声光调制器驱动频率差，因此可通过调整两驱动频率产生频差更小的干涉信号，降低对探测器“高速”的要求；由于声光调制器发生布拉格衍射后产生的零级和一级光束都进行干涉，则该系统可产生零差和外差两个干涉结果，可根据零差干涉图像作细微调节使外差干涉效果更好，使得一种基于涡旋光的双干涉式高帧频采样微位移测量方法及系统操作方便，精度更高。
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公开(公告)号：CN110879040A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201910886293.0
申请日：2019-09-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双声光调制器的迈克尔逊外差干涉纳米位移测量方法，采用迈克尔逊干涉结构，两臂分别加入声光调制器件产生移频；将一级干涉光斑通过一维探测器转变为电信号，将其与信号发生器产生的基准信号用锁相器比较获得两者的相位差，当物体产生纳米位移，信号光一级衍射光斑携带其变化量，含有变化量的一级干涉信号与基准信号的相位差发生变化，通过计算相位差的变化量，可以得到纳米位移引起的相位变化量，根据相位差与位移公式可得到位移量；本发明系统光路简单，易于调节，可有效解决现有技术方案中外差干涉存在光路复杂、调整困难等问题，在超精密位移、振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN110879040B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN201910886293.0
申请日：2019-09-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双声光调制器的迈克尔逊外差干涉纳米位移测量方法，采用迈克尔逊干涉结构，两臂分别加入声光调制器件产生移频；将一级干涉光斑通过一维探测器转变为电信号，将其与信号发生器产生的基准信号用锁相器比较获得两者的相位差，当物体产生纳米位移，信号光一级衍射光斑携带其变化量，含有变化量的一级干涉信号与基准信号的相位差发生变化，通过计算相位差的变化量，可以得到纳米位移引起的相位变化量，根据相位差与位移公式可得到位移量；本发明系统光路简单，易于调节，可有效解决现有技术方案中外差干涉存在光路复杂、调整困难等问题，在超精密位移、振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN110779448B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201910886071.9
申请日：2019-09-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于涡旋光的双干涉式高帧频采样微位移测量方法，采用双声光外差干涉结构，在参考臂和测量臂中分别加入驱动频率不同的声光调制器，调整光束入射角度使其发生布拉格衍射，则一级衍射光干涉信号频率即为两声光调制器驱动频率差，因此可通过调整两驱动频率产生频差更小的干涉信号，降低对探测器“高速”的要求；由于声光调制器发生布拉格衍射后产生的零级和一级光束都进行干涉，则该系统可产生零差和外差两个干涉结果，可根据零差干涉图像作细微调节使外差干涉效果更好，使得一种基于涡旋光的双干涉式高帧频采样微位移测量方法及系统操作方便，精度更高。
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