公开(公告)号：CN114121693A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111361151.6

申请日：2021-11-17

Applicant: 中北大学南通智能光机电研究院 ,  中北大学

Inventor： 王俊强 ,  张海坤 ,  李孟委

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/603 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及微电子封装热压键合技术领域，具体是一种耐超高温气密封装方法，包括下列步骤：键合采用金属铂作为键合连接材料，且键合材料不混合其他金属材料；先将衬底底片清洗，然后用气相沉积法制备介质层；经过光刻、溅射、剥离制备底电极；利用沉积法在键合凸点铂金属表面制作纳米铂柱阵列；再将基板浸入己烷硫醇溶液中自主装一层防止铂金属表面氧化的阻隔膜，最后采用激光划片的方式将单个微结构分开；将两个带有密封环，键合凸点的结构放入倒装焊机，经焊机自动对准、加热，加压开始键合，最终使两个结构结合到一起。本发明通过Pt‑Pt直接键合形成无氧真空腔，可以在1500℃左右为石墨烯纳米薄膜材料提供无氧和高温防护。

公开(公告)号：CN115028474B

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202210509114.3

申请日：2022-05-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 王俊强 ,  张海坤 ,  李孟委

IPC: C04B41/89 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  C23C16/02 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/56 ,  G01K7/16 ,  G01K1/12

Abstract: 本发明涉及高温传感器热防护技术领域，更具体而言，涉及一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备。一种石墨烯传感器复合热防护结构，所述石墨烯复合传感器为层状结构，衬底层、石墨烯敏感层、氮化物隔离层、氧化铝保护层和高温陶瓷防护涂层；所述衬底层上设置石墨烯敏感层，所述石墨烯敏感层上设置氮化物隔离层，所述氮化物隔离层上设置氧化铝保护层，所述氧化铝保护层上设置高温陶瓷防护涂层。用单层石墨烯作为敏感层，衬底层对其提供支撑，利用氮化物作为隔离层主要作用为将石墨烯敏感层与氧化铝隔离开来，在开窗、键合处理后的薄膜上利用热喷涂技术制备一层高温陶瓷涂层，利用薄膜+厚膜工艺复合防护，提高石墨烯传感器在高温下的稳定性。

公开(公告)号：CN115028474A

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202210509114.3

申请日：2022-05-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 王俊强 ,  张海坤 ,  李孟委

IPC: C04B41/89 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  C23C16/02 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/56 ,  G01K7/16 ,  G01K1/12

Abstract: 本发明涉及高温传感器热防护技术领域，更具体而言，涉及一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备。一种石墨烯传感器复合热防护结构，所述石墨烯复合传感器为层状结构，衬底层、石墨烯敏感层、氮化物隔离层、氧化铝保护层和高温陶瓷防护涂层；所述衬底层上设置石墨烯敏感层，所述石墨烯敏感层上设置氮化物隔离层，所述氮化物隔离层上设置氧化铝保护层，所述氧化铝保护层上设置高温陶瓷防护涂层。用单层石墨烯作为敏感层，衬底层对其提供支撑，利用氮化物作为隔离层主要作用为将石墨烯敏感层与氧化铝隔离开来，在开窗、键合处理后的薄膜上利用热喷涂技术制备一层高温陶瓷涂层，利用薄膜+厚膜工艺复合防护，提高石墨烯传感器在高温下的稳定性。