一种涂层厚度的测量方法及测量系统

    公开(公告)号:CN107830810B

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201711285444.4

    申请日:2017-12-07

    Abstract: 本发明公开了一种涂层厚度的测量方法及测量系统,涉及涂层厚度测量技术领域,为解决现有的涂层厚度的测量方法适用范围比较狭窄的问题而发明。该涂层厚度的测量方法,包括以下步骤:S1、用第一脉冲激光对第一涂层进行轰击,获取所述第一脉冲激光轰击所述第一涂层时所发出的光声信号的频谱信息;S2、根据所述频谱信息确定所述第一涂层从开始被轰击到被击穿时所述第一脉冲激光的轰击次数;S3、根据与所述第一涂层的材料相同的涂层的厚度与所述第一脉冲激光的轰击次数之间的函数关系确定所述第一涂层的厚度。本发明可用于涂层的测量。

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