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公开(公告)号：CN115839920B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202211509369.6
申请日：2022-11-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/25 , G01N21/88 , G01N21/954
Abstract: 本发明公开了一种光谱内窥式检测方法及对应的检测装置，步骤一，基于带光源的内窥镜与受限空间中的目标进行靠近或接触，确保受限空间中目标的光学图像能够通过分光成像模块分别导出到相机、光谱传感器上；步骤二，基于内窥镜进行检测点的标定，以得到对应的标定点；步骤三，通过相机的成像观察受限空间中目标上是否有缺陷、腐蚀点；其中，在步骤三中，在观察中如确定目标上存在缺陷、腐蚀点，则通过移动内窥镜将标定点的位置对准缺陷、腐蚀点，获取相应的光谱信息。本发明提供一种光谱内窥式检测方法及对应的检测装置，通过光谱传感器获取视场标定点位置的光谱信息，通过目标图像及内窥镜移动，可实现对目标上感兴趣的位置点进行光谱分析。
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公开(公告)号：CN117346889A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311408505.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种超表面光谱传感系统、确定方法及光谱仪。所述超表面光谱传感系统包括：面阵探测器和超表面分光系统，所述超表面分光系统包括多个超表面单元；多个所述超表面单元设置在所述面阵探测器的上表面；每个所述超表面单元均包括多个相同的超原子；所述超表面单元用于针对设定谐振波长值透过率和非设定谐振波长值透过率不同，起到分光的作用；一个所述超表面单元对应一个设定谐振波长值；所述面阵探测器用于探测所述超表面单元透过的光。本发明通过在面阵探测器上表面设置集成化的超表面分光系统，以缩小光谱传感系统的体积，进而减小光谱仪的体积，实现光谱仪的小型化。
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公开(公告)号：CN116689403A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310719900.0
申请日：2023-06-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种熔石英光学元件清洗干燥夹持装置，光学元件清洗技术领域，熔石英光学元件清洗干燥夹持装置包括旋转动力组件、固定支架和夹持组件，所述固定支架用于与移动设备的移动端固定连接，所述旋转动力组件固定在所述固定支架上，所述旋转动力组件的转轴与所述夹持组件固定连接，所述夹持组件用于夹持光学元件，所述旋转动力组件能够驱动所述夹持组件进行转动，能够提高干燥效率，增强残余杂质去除能力并改善光学元件表面残余杂质分布的均匀性。
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公开(公告)号：CN114152339A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111396191.4
申请日：2021-11-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于几何相位超表面结构的光谱传感器及光谱重建方法，包括：对入射光进行起偏处理的起偏器；对起偏器出来的光进行二次处理的消色差1/4波片；用于光谱编码的几何相位超表面器件；与几何相位超表面器件相配合的检偏器；与检偏器相配合的面阵探测器。本发明提出了一种基于几何相位超表面结构的光谱传感器及光谱重建方法，可以将光谱编码结构压缩为数个平面光学元件的组合，极大简化了光学系统的结构。
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公开(公告)号：CN113447122A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202010222050.X
申请日：2020-03-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明涉及一种纳米孔光谱传感系统及光谱仪。所述纳米孔光谱传感系统，包括：基底、薄膜、面阵探测器和纳米孔单元；所述面阵探测器的上表面设置所述基底，所述基底的上表面设置所述薄膜，所述薄膜上开设有多个纳米孔单元；每个所述纳米孔单元均包括多个纳米孔，所述纳米孔单元内的纳米孔的孔径相等，一个所述纳米孔单元内的纳米孔对应一个设定谐振波长值。本发明通过在基底上表面的薄膜上设置纳米孔提升了器件表面机械性能，纳米孔单元和基底共同组成分光系统，并与面阵探测器集成缩小光谱传感系统的体积，进而减小光谱仪的体积，实现光谱仪小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110194436A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201910504740.1
申请日：2019-06-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及微纳结构制备技术领域，具体涉及一种在有机材料表面制备抗反射微纳结构的方法。本发明对有机材料进行反应离子刻蚀，形成抗反射微纳结构；其中，反应离子刻蚀所用刻蚀气体为氧气和惰性气体，氧气的流量为1～50SCCM，惰性气体的流量为1～100SCCM，且氧气和惰性气体的流量比为1：(1～10)；反应离子刻蚀的功率为10～250W。本发明基于干法刻蚀，没有额外采用任何掩模板，在对有机材料进行反应离子刻蚀过程中，通过控制氧气和惰性气体的流量、二者流量的比例关系以及反应离子刻蚀的功率，能够使有机材料表面产生再沉积物，再沉积物能够作为反应离子刻蚀的微掩模，从而在有机材料表面制备出抗反射微纳结构。
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公开(公告)号：CN115839920A
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202211509369.6
申请日：2022-11-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/25 , G01N21/88 , G01N21/954
Abstract: 本发明公开了一种光谱内窥式检测方法及对应的检测装置，步骤一，基于带光源的内窥镜与受限空间中的目标进行靠近或接触，确保受限空间中目标的光学图像能够通过分光成像模块分别导出到相机、光谱传感器上；步骤二，基于内窥镜进行检测点的标定，以得到对应的标定点；步骤三，通过相机的成像观察受限空间中目标上是否有缺陷、腐蚀点；其中，在步骤三中，在观察中如确定目标上存在缺陷、腐蚀点，则通过移动内窥镜将标定点的位置对准缺陷、腐蚀点，获取相应的光谱信息。本发明提供一种光谱内窥式检测方法及对应的检测装置，通过光谱传感器获取视场标定点位置的光谱信息，通过目标图像及内窥镜移动，可实现对目标上感兴趣的位置点进行光谱分析。
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公开(公告)号：CN119770001A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202510190032.0
申请日：2025-02-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: A61B5/00
Abstract: 本发明公开了一种基于ICCD和光纤式门控的拉曼光谱系统应用方法及系统，包括：S1、控制单元切换激光光源的工作状态，以产生激发目标组织拉曼信号的激光；S2、所述激光通过柔性光纤探头到达待检测部分，控制单元切换门控单元和ICCD探测器的工作状态，以通过光纤探头采集目标组织的拉曼光谱信号；S3、所述控制单元将采集到的拉曼光谱信号输出至光谱分析模块，光谱分析模块基于内置的深度学习模型对采集拉曼光谱信号进行处理，以对采集组织的恶性程度进行分析评估。本发明提供一种基于ICCD和光纤式门控的拉曼光谱系统应用方法及系统，通过结合ICCD和门控技术，提升拉曼信号强度、降低荧光背景，进而提高检测灵敏度和效率。
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公开(公告)号：CN113447123B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202010222056.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，涉及光谱测量领域，主要技术问题是解决当前光谱仪尺寸大、重量重、不易于集成的问题。该系统包括超表面分光子系统、消色差成像子系统和面阵探测器；面阵探测器上设置有消色差成像子系统，消色差成像子系统上设置有超表面分光子系统；超表面分光子系统包括基底和设置于基底上且连续排列的超原子；超表面分光子系统分为N×M个区域，每个区域包含多个且相同的超原子；每一个区域对应一个谐波波长。本发明具有高集成化、高可靠性、与半导体工艺兼容等优点。
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公开(公告)号：CN114112041B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202111406725.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳滤光片阵列的光谱成像系统及其扫描方法，涉及光谱成像技术领域，该系统主要包括：成像镜头、微纳滤光片阵列、二维平移台、面阵探测器和计算机；工作时，通过所述计算机控制所述二维平移台按照设定步长进行横向移动和纵向移动，从而使得目标上的每一个空间像点依次被所述微纳滤光片阵列上不同的滤光片进行光谱调制；经过光谱调制后的空间像点通过所述面阵探测器后形成光电信号；所述光电信号通过所述电连接传输至所述计算机，并经过所述计算机处理后形成所述目标的光谱图像；所述设定步长为所述微纳滤光片阵列中滤光片排列的周期。本发明能够实现高空间分辨率、高光谱精度、低成本的光谱成像。
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