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公开(公告)号：CN112229538B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202010964042.2
申请日：2020-09-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开一种测量飞秒激光加工过程材料温度的装置和方法。适用于飞秒激光加工材料过程中的温度测量。装置简单，操作方便，测量准确可靠。本装置设计利用了热力学的基本原理，通过测量飞秒激光脉冲进入腔体的总能量，和加工过程中气体做功量，换算得到飞秒激光产生的热量，进一步计算得到材料去除过程中的温度。该装置具有良好的气密性，可以准确捕获，在飞秒激光加工过程中材料气化产生气体瞬间膨胀的体积。通过累计测量，提高测量的精确性和可靠度。通过上气阀和下气阀的设计保证了在加工过程中，腔体内部压强为标准大气压，为后续公式计算提供方便。
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公开(公告)号：CN112229538A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202010964042.2
申请日：2020-09-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开一种测量飞秒激光加工过程材料温度的装置和方法。适用于飞秒激光加工材料过程中的温度测量。装置简单，操作方便，测量准确可靠。本装置设计利用了热力学的基本原理，通过测量飞秒激光脉冲进入腔体的总能量，和加工过程中气体做功量，换算得到飞秒激光产生的热量，进一步计算得到材料去除过程中的温度。该装置具有良好的气密性，可以准确捕获，在飞秒激光加工过程中材料气化产生气体瞬间膨胀的体积。通过累计测量，提高测量的精确性和可靠度。通过上气阀和下气阀的设计保证了在加工过程中，腔体内部压强为标准大气压，为后续公式计算提供方便。
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公开(公告)号：CN106970060B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201710320235.2
申请日：2017-05-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/64
Abstract: 一种利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法，该系统包括飞秒激光微加工装置，显微光谱收集装置及温控装置。本发明利用温度可调的温控部件，调节样品所在环境的温度，使飞秒激光作用的区域同时发光。飞秒激光加工时，使样品温度保持在0℃，样品被加工的区域在0℃下不发光。飞秒激光加工后，使样品温度升至室温或者任意一个设置的温度，此时被激光加工后的区域同时发出明亮的长磷光。用光谱收集装置可精确测量设定的温度下长磷光随时间变化的光谱。然后用作图软件计算出每个时刻对应的光谱积分强度，得到光谱积分强度随时间的衰减图，并作非线性拟合，根据拟合的参数，研究飞秒激光诱导的长磷光的发光机理及发光性能。
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公开(公告)号：CN104914680A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510270184.8
申请日：2015-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于溶胶射流靶的LPP-EUV光源系统，由溶胶发生装置、溶胶喷射-循环装置、LPP-EUV发生装置和泵浦激光源所构成。首先由溶胶发生装置产生溶胶，再经溶胶喷射-循环装置而在LPP-EUV发生装置内形成溶胶射流靶。由泵浦激光源输出泵浦激光，进入LPP-EUV发生装置后作用于溶胶射流靶。本发明基于溶胶射流靶增强LPP-EUV光源的可靠性与稳定性，为EUV光刻系统的高效稳定运行提供有力保障。
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公开(公告)号：CN101891391A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010232422.3
申请日：2010-07-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种含有金属或半导体纳米晶的玻璃及其制备方法，玻璃原料为Na2CO3、B2O3、SiO2等，同时加入强的金属还原剂Al粉，然后通过传统的熔融冷却制备得到母玻璃，通过热处理，即可获得整块含有金属或半导体纳米颗粒的玻璃。本发明与在先技术相比，获得了以前没有实现的含有Si、Ge、Pb、Bi、Ga等金属或半导体纳米晶的玻璃。这种玻璃具有优越的非线性光学特性，在特定光功能的光学元器件领域如超快光电子器件以及玻璃工艺品等领域有广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1448755A
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN03116837.X
申请日：2003-05-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种飞秒激光在金属薄膜上制备周期性微结构的方法，将由钛宝石飞秒激光器产生的一束光分成两束，经透镜聚焦实现时间和空间上的相干迭加，作用于沉积在石英、普通玻璃或硅基体上的金属(金、铬、铜、铝和银等)薄膜上，控制激光的脉宽、脉冲频率和单脉冲能量，使之可烧蚀金属薄膜而不破坏基体；固定干涉的激光束，利用计算机操纵的三维平台控制样品的移动，从而制备出金属薄膜的周期性微结构。
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公开(公告)号：CN104638503B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510080857.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP‑EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP‑EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率，从而提高LPP‑EUV光刻光源的功率输出能力。
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公开(公告)号：CN105060239A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510524677.X
申请日：2015-08-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种超疏水多孔硅的制备方法，该方法首先，利用超短脉冲激光在单晶硅表面辐照烧蚀出微纳结构，然后用一定配比的氢氟酸、硝酸和蒸馏水的混合溶液去腐蚀该表面，从而得到多孔硅表面。利用本发明方法制备的多孔硅表面具有良好的超疏水特性。
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公开(公告)号：CN103217870B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201310139421.8
申请日：2013-04-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光束引导的液滴靶控制系统，包括液滴喷嘴、高功率泵浦激光器、第三聚焦透镜和延时脉冲发生器，其特点在于还包括激光光源、第一反射镜、半波片、布儒斯特角偏振片、四分之一波片、第二反射镜、第一聚焦透镜、真空管、第二聚焦透镜、环形平面反射镜和环形聚焦透镜。本发明能精确控制20微米量级的金属液滴的下落轨迹，并可调节液滴下落速度，该系统工作长期稳定，确保液滴与高功率泵浦激光的时间同步和空间重合。
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公开(公告)号：CN1800913A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200610023416.0
申请日：2006-01-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种透明SiO2凝胶内部形成三维彩色图案的方法，是将激光脉冲宽度为飞秒至纳秒，焦斑上光功率密度大于1×106w/cm2的激光束聚焦到掺杂有金属Ag+、Au+、Cu2+等离子的SiO2凝胶内部。经过激光照射区析出金属纳米颗粒，并产生与此相关的多色着色。用紫外光辐照上述玻璃，还可以产生与激光照射和热处理相关的多色发光。与在先技术相比，本发明的立体图案的形成方法能够获得多色的立体图案。有望应用于超高密度的三维光存储以及三维光子晶体上。
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