一种用于脉冲驱动大气压气体放电的动态阻抗匹配系统及方法

    公开(公告)号:CN119135123A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411352742.0

    申请日:2024-09-26

    Abstract: 本发明提供一种用于脉冲驱动大气压气体放电的动态阻抗匹配系统及方法,系统包括模块化脉冲功率发生器和阻抗动态反馈匹配系统,模块化脉冲功率发生器采用全固态直线变压驱动器SSLTD系统;阻抗动态反馈匹配系统与SSLTD系统相适应,阻抗动态反馈匹配系统包括ADC、电流探头、电压探头、FPGA微机和预设FPGA阻抗动态匹配算法;SSLTD系统包括若干独立SSLTD模块,每个SSLTD模块至少包括一个磁芯、若干个由放电开关和电容构成的单元组、以及若干个二极管;阻抗动态匹配系统通过实时监测放电过程中的电压、电流和阻抗变化,利用反馈控制机制对模块化脉冲功率发生器进行动态调整,以实现不同放电模式下的阻抗动态匹配。

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