一种基于差压传感器的真空压力测试方法

    公开(公告)号:CN105403354B

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201510717620.1

    申请日:2015-10-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于差压传感器的真空压力测试方法,采用在差压传感器的参考端C连接稳压腔的方式,打开稳压腔与被测试验腔体之间的阀门一,稳压腔与被测试验腔体连通;打开被测试验腔体与真空罐之间的阀门二,被测试验腔体与真空罐连通;关闭稳压腔连接到被测试验腔体测量腔体上的阀门一;在进行试验时,采集差压传感器和绝压传感器的电压值Ui和U0;将Ui和U0,按传感器校准拟合曲线换算成对应的压力值Pi和P0,差压传感器的测量端测量的压力P'=Pi+P0;试验结束,先打开阀门一,再关闭阀门二,使得稳压腔与被测试验腔体相通。本发明可以解决参考端气流不稳定而造成测试不准确的问题。

    一种基于差压传感器的真空压力测试方法

    公开(公告)号:CN105403354A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201510717620.1

    申请日:2015-10-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于差压传感器的真空压力测试方法,采用在差压传感器的参考端C连接稳压腔的方式,打开稳压腔与被测试验腔体之间的阀门一,稳压腔与被测试验腔体连通;打开被测试验腔体与真空罐之间的阀门二,被测试验腔体与真空罐连通;关闭稳压腔连接到被测试验腔体测量腔体上的阀门一;在进行试验时,采集差压传感器和绝压传感器的电压值Ui和U0;将Ui和U0,按传感器校准拟合曲线换算成对应的压力值Pi和P0,差压传感器的测量端测量的压力P'=Pi+P0;试验结束,先打开阀门一,再关闭阀门二,使得稳压腔与被测试验腔体相通。本发明可以解决参考端气流不稳定而造成测试不准确的问题。

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