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公开(公告)号：CN111002111A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911262675.2
申请日：2019-12-10
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种面向亚纳米精度离子束抛光加工的面形误差优化去除方法，步骤包括：计算期望的材料去除总量；计算等比例去除方式的迭代加工材料去除量；计算迭代加工所需的驻留时间；材料的等比例加工去除；迭代抛光加工。本发明能够避免抛光过程中高频误差的产生，更有利于迭代抛光过程中机床的平稳运行，可在迭代抛光过程中实现全局面形误差的均匀修正，更适合亚纳米精度光学元件的离子束抛光加工。
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公开(公告)号：CN110877255A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911257406.7
申请日：2019-12-10
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种熔石英光学表面超光滑加工的组合加工工艺，步骤包括：前期预处理加工；纳米量级面形精度的高效磁流变抛光；中高频表面粗糙度的光顺加工；亚纳米精度光学表面的离子束超光滑抛光加工。本发明提出的加工工艺可以对表面/亚表面损伤、面形精度、表面粗糙度进行分阶段的控制，实现全频段误差一致收敛到亚纳米精度的高效加工，原理简单、容易实现、效率更高。
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公开(公告)号：CN110877255B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201911257406.7
申请日：2019-12-10
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种熔石英光学表面超光滑加工的组合加工工艺，步骤包括：前期预处理加工；纳米量级面形精度的高效磁流变抛光；中高频表面粗糙度的光顺加工；亚纳米精度光学表面的离子束超光滑抛光加工。本发明提出的加工工艺可以对表面/亚表面损伤、面形精度、表面粗糙度进行分阶段的控制，实现全频段误差一致收敛到亚纳米精度的高效加工，原理简单、容易实现、效率更高。
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