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公开(公告)号：CN115285794A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210976909.5
申请日：2022-08-15
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
Abstract: 本发明公开了一种光纤拉线裁线机，包括机台、及设置于机台上的进料机构、裁线机构及拉线机构，所述进料机构包括绕有光纤线的料筒、张紧轮、张紧摆杆，所述张紧摆杆一端与张紧轮转动连接而张紧摆杆另一端与机台铰接，所述近接感应器固定于机台上且能够在光纤线崩断后感应张紧摆杆，所述裁线机构包括裁线移动机构及通过裁线移动机构带动在平面内移动的夹线气缸一、夹线气缸二及位于夹线气缸一和夹线气缸二间的电动裁剪刀，所述拉线机构包括拉线移动机构、通过拉线移动机构带动的拉线架，所述拉线架上设有拉线气缸，所述光纤线经张紧轮张紧后，所述拉线气缸能够夹住光纤线通过拉线移动机构的带动而移动到预定距离。
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公开(公告)号：CN114967372A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210851595.6
申请日：2022-07-20
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种多模组光引擎，包括：多组第一子引擎，每组第一子引擎皆包括第一光源系统和第一镜头且水平设置，每组第一子引擎相互之间前后错位并具有高度差；多个第一反射镜，与第一子引擎的数量一致且分别设置于每个第一镜头的正前方，多个第一反射镜皆为45°反射镜且其竖向投影位于同一直线上，每个第一反射镜与其对应的第一镜头之间的距离为Ln，每个第一反射镜的与曝光平台的垂直距离为Mn，并满足Ln+Mn等于多模组光引擎的焦距F。通过将传统竖直摆放的光引擎横向放置或倾斜设置，一方面可以减少引擎高度，另一方面可以实现引擎间距减少，从而便于通过增加引擎数量，实现增加产能，尤其当精度实现微米甚至纳米时，提高产能的效果更加显著。
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公开(公告)号：CN217833416U
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202222130086.2
申请日：2022-08-12
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种光纤耦合部件检测用夹具，包括底板及与底板扣合的面板，所述底板中设有若干用于固定耦合部件的卡槽，所述卡槽的底面设有用于点胶及检测的底通孔；所述面板上设有用于点胶及检测的面通孔，所述面通孔与对应的卡槽连通，多个光纤耦合部件卡在对应卡槽中通过面板压在卡槽中，光纤耦合部件上的点胶位与底通孔及面通孔是对应的，因而工人能够对光纤耦合部件点胶，而且是统一点面完一面后再将夹具整体翻转进行另一面的点胶，上述过程只用翻转一次就可对多个光纤耦合部件点胶完成，因而节省时间，而且通过底通孔及面通孔的引导能够更准确点到光纤耦合部件的胶位上。
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公开(公告)号：CN217739713U
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202221911365.6
申请日：2022-07-21
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构，包括底座、移动平台，其特征在于：所述移动平台上设有电线转接头，所述电线转接头中设有金属触片，设备电线通过电线转接头与金属触片电连接，所述底座上设有线轨座，所述线轨座中设有与外界电源导通的导线，所述金属触片能够与导线滑动接触而导通，所述气管为伸缩管。本实用新型不使用拖链的方式不仅可以减少振动对设备的稳定性以及解析精度的影响，同时可以减少结构装配，减少后期人力物力成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN218313908U
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202222130553.1
申请日：2022-08-12
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种光纤拉线裁线机断线报警机构，包括进料架、张紧轮、张紧摆杆，所述张紧摆杆一端与张紧轮转动连接而张紧摆杆另一端与进料架铰接，所述近接感应器固定于进料架上且能够感应张紧摆杆，本申请的张紧轮通过张紧摆杆摆动而张紧，当光纤线被拉动张紧时，张紧摆杆位于张紧的位置，而光纤线因为意外断了后，张紧摆杆能够通过重力摆动回原位，而近接感应器设置于张紧摆杆摆动回原位所要经过的某一位置，从而在光纤线断后近接感应器能将感应到的断线信号传送到控制中心，从而实现断线报警。
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公开(公告)号：CN218289431U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222196639.4
申请日：2022-08-22
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司(CN)
IPC: B65G47/252 , B65G47/91 , B65G49/06 , B65G37/00 , B65G49/07
Abstract: 本实用新型涉及板状工件加工输送技术领域，具体为一种板状工件加工输送设备，包括支撑架体；第一工件进出料部件，与所述支撑架体连接；第二工件进出料部件，与所述支撑架体连接；第一工位平台，与所述支撑架体连接，且所述第一工位平台在第一位置A1时与所述第一工件进出料部件在水平方向上对接、在第二位置A2时与第一加工设备对接；第一平台驱动机构，设置在所述支撑架体上，且所述第一平台驱动机构的动力输出端与所述第一工位平台连接。板状工件加工输送设备的第一工位平台、第二工位平台是并行设置在一起的，省去了现有技术中板状工件在第一加工设备与翻转设备之间以及在翻转设备与第二加工设备之间输送的时间，从而提高了板状工件的加工效率。
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公开(公告)号：CN218659438U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202222150337.3
申请日：2022-08-15
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种光纤拉线裁线机，包括机台、及设置于机台上的进料机构、裁线机构及拉线机构，所述进料机构包括绕有光纤线的料筒、张紧轮、张紧摆杆，所述张紧摆杆一端与张紧轮转动连接而张紧摆杆另一端与机台铰接，所述近接感应器固定于机台上且能够在光纤线崩断后感应张紧摆杆，所述裁线机构包括裁线移动机构及通过裁线移动机构带动在平面内移动的夹线气缸一、夹线气缸二及位于夹线气缸一和夹线气缸二间的电动裁剪刀，所述拉线机构包括拉线移动机构、通过拉线移动机构带动的拉线架，所述拉线架上设有拉线气缸，所述光纤线经张紧轮张紧后，所述拉线气缸能够夹住光纤线通过拉线移动机构的带动而移动到预定距离。
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公开(公告)号：CN218332291U
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202221911301.6
申请日：2022-07-21
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构，包括若干导线及气管，其特征在于：还包括螺旋式弹性伸缩管，所述导线从螺旋式弹性伸缩管穿过且随着螺旋式弹性伸缩管伸缩，所述气管为弹性伸缩气管或直管，所述直管从螺旋式弹性伸缩管穿过且随着弹性伸缩管伸缩。本实用新型不使用拖链的方式不仅可以减少振动对设备的稳定性以及解析精度的影响，同时可以减少结构装配，减少后期人力物力成本。
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公开(公告)号：CN217833809U
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202222130593.6
申请日：2022-08-12
Applicant: 中山新诺微电子装备制造有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种光纤拉线裁线机拉线裁剪机构，包括机台、及设置于机台上的裁线机构及拉线机构，所述裁线机构包括裁线移动机构及通过裁线移动机构带动在平面内移动的夹线气缸一、夹线气缸二及位于夹线气缸一和夹线气缸二间的电动裁剪刀，所述拉线机构包括拉线移动机构、通过拉线移动机构带动的拉线架，所述拉线架上设有拉线气缸，拉线气缸能够夹住光纤线通过拉线移动机构的带动而移动到预定距离，且在光纤被拉线气缸拉到了预定长度，夹线气缸一及夹线气缸二夹住光纤后通过电动裁剪刀将光纤剪断。
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