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公开(公告)号：CN119044071A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411527963.7
申请日：2024-10-30
Applicant: 云际芯光(珠海)微电子有限公司 , 天津大学
Abstract: 本申请提供了一种光声光热传感器，涉及气体检测技术领域。该光声光热传感器的壳体中空形成检测腔，红外辐射模块和检测模块容置于检测腔内；壳体上设有至少一个与检测腔连通的气孔；红外辐射模块用于向检测腔内的气体发射红外线，红外线的波段与待检测气体的类型相对应；检测模块用于检测声波和检测腔内气体的温度以进行待检测气体的浓度检测，声波和温度的变化是待检测气体基于发射的红外线产生的。本申请实施例能够通过增加光热检测的方式扩展气体浓度的检测范围，并且能够在其中一个检测方式失效或性能受限时，通过另一检测方式进行气体检测，有效减少传感器无法检测或检测数据错误的场景，提升传感器的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN119044071B
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411527963.7
申请日：2024-10-30
Applicant: 云际芯光(珠海)微电子有限公司 , 天津大学
Abstract: 本申请提供了一种光声光热传感器，涉及气体检测技术领域。该光声光热传感器的壳体中空形成检测腔，红外辐射模块和检测模块容置于检测腔内；壳体上设有至少一个与检测腔连通的气孔；红外辐射模块用于向检测腔内的气体发射红外线，红外线的波段与待检测气体的类型相对应；检测模块用于检测声波和检测腔内气体的温度以进行待检测气体的浓度检测，声波和温度的变化是待检测气体基于发射的红外线产生的。本申请实施例能够通过增加光热检测的方式扩展气体浓度的检测范围，并且能够在其中一个检测方式失效或性能受限时，通过另一检测方式进行气体检测，有效减少传感器无法检测或检测数据错误的场景，提升传感器的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN119086457A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411554485.9
申请日：2024-11-04
Applicant: 云际芯光(珠海)微电子有限公司 , 天津大学
Abstract: 本发明公开一种声气信号检测一体集成式的传感器、系统及制造方法，传感器包括，激光器用于发射出激光束，透光组件位于激光器的光路径上，透光组件与激光器间隔设置，光栅位于透光组件背离激光器的一侧且位于透光组件上，声膜组件位于光栅远离透光组件的一侧，且与光栅间隔设置，声膜组件包括声敏感膜和反射层，反射层位于靠近光栅的一侧，声敏感膜位于背离光栅的一侧，红外辐射组件位于声膜组件远离光栅的一侧，且与声膜组件间隔设置，用于发出可供气体吸收的光，以形成声波，若干光电检测转换组件，均位于激光经过光栅后反射回来并穿过透光组件所在的光路径上。本发明很好地将实现气体声波检测，实现高度的一体式集成化，灵敏度和精确度高。
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公开(公告)号：CN119052962A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411527959.0
申请日：2024-10-30
Applicant: 云际芯光(珠海)微电子有限公司 , 天津大学
Abstract: 本发明公开了一种微型加热器及其制备方法，包括具有刻蚀槽的衬底；覆盖整个衬底的复合支撑层；沉积在复合支撑层上表面的加热层；覆盖加热结构的保护层；覆盖加热层和保护层的钝化层；设置在钝化层内部的金属散热层；方法包括：在衬底上表面形成复合支撑层；在复合支撑层上表面沉积加热层；加热层的加热结构上沉积用于覆盖加热结构的保护层；复合支撑层上表面沉积钝化层；钝化层上表面沉积金属散热层；钝化层继续沉积到预定厚度以包裹金属散热层；钝化层刻蚀出窗口，露出的连接电极上表面沉积Pad层；刻蚀衬底以形成刻蚀槽。该微型加热器薄膜结构稳定，散热性能好，热响应时间短，解决了传统微型加热器无法兼顾热响应速率与结构稳定性的问题。
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