公开(公告)号：CN217033263U

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202122929768.5

申请日：2021-11-26

Applicant: 亚洲硅业(青海)股份有限公司 ,  青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 ,  青海亚洲硅业半导体有限公司

Inventor： 安军林 ,  朱芙蓉 ,  陈英春 ,  陈英 ,  曹岩德 ,  魏东亮 ,  邢成莉 ,  姜涛

IPC: G01N1/28

Abstract: 本实用新型公开了一种氯硅烷检测样品的前处理系统，属于化工检测技术领域，包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶(12)，采样瓶(12)设于冷凝子装置中，采样瓶(12)输入端通入有氯硅烷样品。本实用新型通过冷凝子装置配合采样瓶得到氯硅烷样品的凝液，实现了低沸点、易挥发氯硅烷检测样品的前处理；整个前处理过程完全密封，一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触；另一方面能够保证氯硅烷样品充分冷凝，进而从氯硅烷样品中获取检测样品，以此保证检测样品制备的准确性与可靠性。