公开(公告)号：CN110831708B

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN201880044356.1

申请日：2018-07-10

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 山森贤治 ,  尾又清登

IPC: B08B7/00 ,  B08B11/00

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够与被处理体的输送速度无关地以较高的稳定性进行光清洗的光照射装置。本发明的光照射装置是对沿着输送路径输送的带状的被处理体(W)的一个面照射紫外线的光照射装置，其特征在于，沿着输送路径中的被处理体(W)的一面侧的通过平面具有开口(12H)的灯罩(12)、设置于所述灯罩(12)内的、沿所述被处理体(W)的宽度方向延伸的紫外线灯(11)、和沿着所述输送路径中的被处理体(W)的另一面侧的通过平面具有开口(13H)的排气空间形成部件(13)，上述处理空间用气体为主要成分的惰性气体中混入有含有氧的气体和/或水分的气体，在所述灯罩(12)的开口(12H)上设置有与所述被处理体(W)的两侧缘部之间形成气体流通阻碍用狭路(G)的遮蔽体。

公开(公告)号：CN110831708A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201880044356.1

申请日：2018-07-10

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 山森贤治 ,  尾又清登

IPC: B08B7/00 ,  B08B11/00

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够与被处理体的输送速度无关地以较高的稳定性进行光清洗的光照射装置。本发明的光照射装置是对沿着输送路径输送的带状的被处理体(W)的一个面照射紫外线的光照射装置，其特征在于，沿着输送路径中的被处理体(W)的一面侧的通过平面具有开口(12H)的灯罩(12)、设置于所述灯罩(12)内的、沿所述被处理体(W)的宽度方向延伸的紫外线灯(11)、和沿着所述输送路径中的被处理体(W)的另一面侧的通过平面具有开口(13H)的排气空间形成部件(13)，上述处理空间用气体为主要成分的惰性气体中混入有含有氧的气体和/或水分的气体，在所述灯罩(12)的开口(12H)上设置有与所述被处理体(W)的两侧缘部之间形成气体流通阻碍用狭路(G)的遮蔽体。