公开(公告)号：CN101799632B

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201010113523.9

申请日：2010-02-03

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 新堀真史 ,  铃木一好

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种光照射装置，在具有由框架及其隔条保持多个滤片板的滤片的光照射装置中，防止在光照射面的照度分布均匀度的降低。由光源(H)所射出的光在第1反射镜(3)进行反射，通过滤片(10)而入射至排列配置有多个矩形透镜的积分透镜(4)。滤片(10)是由框架(保持框)及以纵横形成在该框架的隔条保持矩形状多个滤片板所成。因此，该隔条将来自光源(H)的光遮光，在积分(4)上形成线状阴影而使被照射面中的照度分布形成为不均匀。因此，将滤片(10)以滤片(10)的隔条相对积分透镜(4)的各透镜的边倾斜、并且与各透镜的对角线不平行的方式进行配置。由此，可防止因隔条(10c)所形成阴影所造成的被照射面中的照度分布均匀度的降低。

公开(公告)号：CN101799632A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN201010113523.9

申请日：2010-02-03

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 新堀真史 ,  铃木一好

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种光照射装置，在具有由框架及其隔条保持多个滤片板的滤片的光照射装置中，防止在光照射面的照度分布均匀度的降低。由光源(H)所射出的光在第1反射镜(3)进行反射，通过滤片(10)而入射至排列配置有多个矩形透镜的积分透镜(4)。滤片(10)是由框架(保持框)及以纵横形成在该框架的隔条保持矩形状多个滤片板所成。因此，该隔条将来自光源(H)的光遮光，在积分(4)上形成线状阴影而使被照射面中的照度分布形成为不均匀。因此，将滤片(10)以滤片(10)的隔条相对积分透镜(4)的各透镜的边倾斜、并且与各透镜的对角线不平行的方式进行配置。由此，可防止因隔条(10c)所形成阴影所造成的被照射面中的照度分布均匀度的降低。