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公开(公告)号：CN112969969B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201980073618.1
申请日：2019-11-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种使用多个半导体激光光源(11)而供给均匀的位置分布以及角度分布的光的曝光用光源装置(1)。曝光用光源装置(1)具备：多个半导体激光单元(10)，分别包括：多个半导体激光光源(11)、将从所述半导体激光光源(11)射出的光线束转换成大致平行的光线束而射出的多个准直光学系统(12)、入射从所述多个准直光学系统(12)射出的多个光线束并将各个光线束转换成发散的光线束而射出的扩散光学系统(13)、以及将从所述扩散光学系统(13)射出的光线束聚光的聚光光学系统(14)；以及积分光学系统(15)，在从所述多个半导体激光单元(10)射出的多个光线束聚光的位置配置有入射面，所述扩散光学系统(13)配置于从不同的所述半导体激光光源(11)射出的光线束的至少一部分在所述聚光光学系统(14)的入射面上重合的位置。
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公开(公告)号：CN112969969A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201980073618.1
申请日：2019-11-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种使用多个半导体激光光源(11)而供给均匀的位置分布以及角度分布的光的曝光用光源装置(1)。曝光用光源装置(1)具备：多个半导体激光单元(10)，分别包括：多个半导体激光光源(11)、将从所述半导体激光光源(11)射出的光线束转换成大致平行的光线束而射出的多个准直光学系统(12)、入射从所述多个准直光学系统(12)射出的多个光线束并将各个光线束转换成发散的光线束而射出的扩散光学系统(13)、以及将从所述扩散光学系统(13)射出的光线束聚光的聚光光学系统(14)；以及积分光学系统(15)，在从所述多个半导体激光单元(10)射出的多个光线束聚光的位置配置有入射面，所述扩散光学系统(13)配置于从不同的所述半导体激光光源(11)射出的光线束的至少一部分在所述聚光光学系统(14)的入射面上重合的位置。
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公开(公告)号：CN111213005A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201880066575.X
申请日：2018-09-04
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: F21K9/64 , F21V7/30 , F21V9/20 , F21V9/30 , G02B5/20 , G03B21/00 , G03B21/14 , H01L33/00 , H01S5/02 , F21Y115/30
Abstract: 本发明提供一种荧光光源装置，具备：发光元件，放射蓝色的激发光；波长转换元件，被所述激发光激发而放射黄色的荧光；聚光光学系统，将所述激发光聚光于所述波长转换元件；以及第一分色镜，反射或透射所述激发光，透射或反射所述荧光，混合来自所述波长转换元件的荧光与未被该波长转换元件转换的一部分激发光而射出白色光，在该荧光光源装置中，即使在激发光的强度发生了变动的情况下，也能够将所射出的白色光的色温保持为一定。其特征在于，还具备放射与所述激发光相同的蓝色区域的光的辅助光源，对来自所述第一分色镜的混合所述荧光与所述一部分激发光而成的白色光，混合来自所述辅助光源的放射光。
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公开(公告)号：CN111213005B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201880066575.X
申请日：2018-09-04
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: F21K9/64 , F21V7/30 , F21V9/20 , F21V9/30 , G02B5/20 , G03B21/00 , G03B21/14 , H01L33/00 , H01S5/02 , F21Y115/30
Abstract: 本发明提供一种荧光光源装置，具备：发光元件，放射蓝色的激发光；波长转换元件，被所述激发光激发而放射黄色的荧光；聚光光学系统，将所述激发光聚光于所述波长转换元件；以及第一分色镜，反射或透射所述激发光，透射或反射所述荧光，混合来自所述波长转换元件的荧光与未被该波长转换元件转换的一部分激发光而射出白色光，在该荧光光源装置中，即使在激发光的强度发生了变动的情况下，也能够将所射出的白色光的色温保持为一定。其特征在于，还具备放射与所述激发光相同的蓝色区域的光的辅助光源，对来自所述第一分色镜的混合所述荧光与所述一部分激发光而成的白色光，混合来自所述辅助光源的放射光。
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