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公开(公告)号：CN115668059A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180035400.4
申请日：2021-03-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 极紫外光光源装置具备阴极、阳极、电力供给装置、支承阴极的金属制的第一支承构造体和支承阳极的金属制的第二支承构造体。电力供给装置在阴极与阳极之间产生放电，产生释放出极紫外光的等离子体。阴极连结于金属制的第一旋转轴，阳极连结于金属制的第二旋转轴。第一支承构造体具有第一支承壁部和包围第一旋转轴的第一筒部。第二支承构造体具有第二支承壁部和包围第二旋转轴的第二筒部。第一支承壁部与第二支承壁部相互重叠。在第一支承壁部形成有供第二筒部插入的贯通孔，或者在第二支承壁部形成有供第一筒部插入的贯通孔。
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