公开(公告)号：CN103128080B

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201210482539.6

申请日：2012-11-23

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 山森贤治 ,  纳田诚人 ,  中岛幸秀 ,  小柳博

IPC: B08B7/00 ,  B08B5/02

Abstract: 提供一种光照射装置，抑制空气流入至处理对象基板与灯之间，所以可对处理对象基板以高效率来照射光。一种光照射装置，具备：灯罩，内置有朝向沿着基板传送路径传送的处理对象基板的一面照射光的准分子灯；和气体供给单元，对上述处理对象基板与上述准分子灯之间供给惰性气体，在上述基板传送路径上的上述灯罩的上游侧，与该灯罩相邻地形成有压力缓冲空间，上述光照射装置的特征在于，在基板传送路径上的压力缓冲空间的上游侧设置有空气排出单元，该空气排出单元排出沿着处理对象基板的被光照射的一面流动的空气。

公开(公告)号：CN103128080A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210482539.6

申请日：2012-11-23

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 山森贤治 ,  纳田诚人 ,  中岛幸秀 ,  小柳博

IPC: B08B7/00 ,  B08B5/02

Abstract: 提供一种光照射装置，抑制空气流入至处理对象基板与灯之间，所以可对处理对象基板以高效率来照射光。一种光照射装置，具备：灯罩，内置有朝向沿着基板传送路径传送的处理对象基板的一面照射光的准分子灯；和气体供给单元，对上述处理对象基板与上述准分子灯之间供给惰性气体，在上述基板传送路径上的上述灯罩的上游侧，与该灯罩相邻地形成有压力缓冲空间，上述光照射装置的特征在于，在基板传送路径上的压力缓冲空间的上游侧设置有空气排出单元，该空气排出单元排出沿着处理对象基板的被光照射的一面流动的空气。