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公开(公告)号：CN101441182A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200810178239.2
申请日：2008-11-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种图案检查装置，其不会降低图案检查的处理量，可进行反射照明机构的照度测定，且不会遗漏凹坑的存在。该图案检查装置，其摄像单元(51)于工件(W)的宽度方向进行扫描，以摄像单元接收被反射照明机构(21)照明了的配线图案像，以未图示的控制部予以存储。另外，来自于反射照明机构的照明光被反射构件(反射镜)(60)反射，以摄像单元接收。控制部将反射构件的反射光进行图像处理，求出辉度，将此辉度与下限值进行比较，若比下限照度的辉度低的话，则视为反射照明光的照度降低，控制部停止装置运作，进行警报等的故障显示。另外，若反射构件的辉度为下限照度的辉度以上的话，控制部(4)进行所拍摄的配线图案的检查。
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公开(公告)号：CN101290296A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810009490.6
申请日：2008-02-03
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , G01R31/00
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种图案检查装置，利用反射照明光与透射照明光，区分在图案的表面产生的凹坑与突起，只将凹坑作为不良检测出。该图案检查装置，根据对形成于光透射性基板(1)上的图案(2)照明的照明光的摄像图像，判断图案的合格与否，其包括：第1照明单元(31)，照射中心光线相对于基板大致垂直的照明光；第2照明单元(32)，从将设置于基板的背面侧的检查区域(6)向基板在法线方向上投影的区域之外，对基板照射照明光；摄像单元(33)，设置在与第1照明单元(31)的照射方向相同的方向上；以及控制单元(4)，控制第1照明单元与第2照明单元(32)。控制单元同时进行第1照明单元和第2照明单元的照明，摄像单元拍摄同时被照明的图案。
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公开(公告)号：CN101551078B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200910130153.7
申请日：2009-03-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: F21S8/00 , F21V19/00 , F21V5/02 , G01N21/956 , F21Y105/00 , F21Y101/02
Abstract: 本发明提供在拍摄的区域的任意点上光的入射的条件相同的照明单元、及可进行凹坑的优劣判定的图案检查装置。将多个LED(2)排列在LED支撑构件(3)上，照明光从LED(2)以平行的状态射出，以规定的入射角度θ入射于摄像区域(R)地构成各面光源(a～h)。排列LED(2)的区域的大小比摄像区域(R)的大小大。由8个面光源(a～h)，照明光以平行状态射出，以规定角度θ入射在摄像区域(R)的全体。因此，在摄像区域(R)的BAC上的任意点上，相同角度的照明光以相同照射强度从全方向入射，无论在摄像区域的哪一点上，其条件都成为相同。所以，在进行检查的全部区域，根据凹坑的光亮(辉度)的不同可判定优劣。
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公开(公告)号：CN101551078A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910130153.7
申请日：2009-03-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: F21S8/00 , F21V19/00 , F21V5/02 , G01N21/956 , F21Y101/02 , F21Y105/00
Abstract: 本发明提供在拍摄的区域的任意点上光的入射的条件相同的照明单元、及可进行凹坑的优劣判定的图案检查装置。将多个LED(2)排列在LED支撑构件(3)上，照明光从LED(2)以平行的状态射出，以规定的入射角度θ入射于摄像区域(R)地构成各面光源(a～h)。排列LED(2)的区域的大小比摄像区域(R)的大小大。由8个面光源(a～h)，照明光以平行状态射出，以规定角度θ入射在摄像区域(R)的全体。因此，在摄像区域(R)的BAC上的任意点上，相同角度的照明光以相同照射强度从全方向入射，无论在摄像区域的哪一点上，其条件都成为相同。所以，在进行检查的全部区域，根据凹坑的光亮(辉度)的不同可判定优劣。
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公开(公告)号：CN101311706A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200810109189.2
申请日：2008-05-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , G01B11/02
Abstract: 本发明提供布线图形的检查装置以及方法，能够区别产生于图形的表面的凹坑与突起，并能够在仅检测出凹坑的同时，也进行线宽的测定。作为解决问题的手段，本发明是从TAB带的被形成有图形的一侧，通过反射照明单元(12)，对于检查区域以倾斜射入的方式来照射照明光，同时，从被形成有图形的一侧的相反侧，通过透射照明单元(13)来照射照明光，并通过摄像单元(11)对图形进行摄像。若在图形的表面存在有凹坑，则来自反射照明单元(12)的反射光射入摄像单元(11)，并将该部分拍摄为明亮。又，通过来自透射照明单元(13)的照明光，被形成有图形的部分被拍摄为灰暗，而未被形成有图形的部分被拍摄为明亮。由此，通过使用反射照明与透射照明进行摄像，能够在仅将凹坑检测出来的同时，也进行线宽的测定。
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公开(公告)号：CN205539851U
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201620270687.5
申请日：2016-04-01
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 提供一种能够效率良好地进行光照射的小型的光照射装置。光照射装置是对在预先设定的照射区域通过的工件照射光的光照射装置，该光照射装置具备：悬浮台，沿在上述照射区域上述工件通过的通过方向延伸，对该工件之下吹出气体并使该工件悬浮；以及保持移动机，在与上述通过方向相交的方向上夹着上述悬浮台的两肋设有一对，该一对保持移动机的各保持移动机具有保持上述工件并朝向上述通过方向移动的功能，在该一对保持移动机中的一方保持该工件并移动时，该一对保持移动机中的另一方与该工件错开并沿与该通过方向的相反方向移动。
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