公开(公告)号：CN116997788A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202280021400.3

申请日：2022-03-15

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 长岛寿一

IPC: G01N21/01

Abstract: 提供一种改善了光的利用效率的光测定装置。搬运装置(400)支承及搬运对象物(OBJ)。搬运装置(400)在对象物(OBJ)被支承的部位具有设有比对象物(OBJ)窄的开口402的支承部分(401)。照明装置(200)将波长随时间变化的测定光(SIN)经由支承部分(401)的开口(402)照射到对象物(OBJ)的第一面。受光装置(300)检测从对象物(OBJ)的第二面放射出的扩散透射光即物体光(SOBJ)。

公开(公告)号：CN108388084A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810105095.1

申请日：2018-02-02

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 长岛寿一

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70725

Abstract: 提供能够使工作台平台的微小的振动迅速衰减的曝光装置。曝光装置的一方式具备：框架；工作台平台，相对于框架升降自如，在与升降方向交叉的面内方向上扩展；可动工作台，搭载于工作台平台，在面内方向上移动自如；曝光部，对载置于可动工作台的曝光对象照射光来进行曝光；移动机，使可动工作台相对于工作台平台在面内方向上移动；升降机，使搭载有可动工作台的工作台平台相对于框架升降；减振器，与框架和工作台平台这两方相连，抑制工作台平台相对于框架的振动，减振器具备：容器，固定于框架与工作台平台中的一方，在内部收容有粘性流体；插入体，固定于相对于一方的另一方，插入体的一部分以不与该容器的内壁接触的状态插入到粘性流体中。

公开(公告)号：CN119072614A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202380035265.2

申请日：2023-05-23

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 横山拓马 ,  长岛寿一

IPC: G01J3/08 ,  G01N21/59

Abstract: 提供能够保护受光器的光测定装置。光源装置(200)产生波长扫描光(L1)。照射光学系统(310)将波长扫描光(L1)照射到测定位置(4)。输送装置(330)将试样(2)以通过测定位置(4)的方式输送。受光装置(320)测定透过了试样(2)的波长扫描光即物体光(L2)。光路切换元件(340)设于波长扫描光(L1)的光路，切换波长扫描光的光路。控制器(350)根据有无测定对象(2)来控制光路切换元件(340)。