公开(公告)号：CN1940726A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200610139932.X

申请日：2006-09-27

Applicant: 住友精化株式会社 ,  住友化学株式会社

Inventor： 冈崎慎哉 ,  冈本匡史 ,  藤裕介 ,  藤岛浩晃

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28

Abstract: 一种制备化学放大正性光刻胶用树脂的方法，该方法包括将至少一种单体和/或至少一种已聚合的低聚物进行聚合，从而提供化学放大正性光刻胶用树脂的步骤，其中采用两种或更多种聚合引发剂以引发聚合，由此以高产率获得树脂。

公开(公告)号：CN1940726B

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200610139932.X

申请日：2006-09-27

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 冈崎慎哉 ,  冈本匡史 ,  藤裕介 ,  藤岛浩晃

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28

Abstract: 一种制备化学放大正性光刻胶用树脂的方法，该方法包括将至少一种单体和/或至少一种已聚合的低聚物进行聚合，从而提供化学放大正性光刻胶用树脂的步骤，其中采用两种或更多种聚合引发剂以引发聚合，由此以高产率获得树脂。