公开(公告)号：CN111721502B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202010186956.0

申请日：2020-03-17

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 小林信次 ,  宫路隆昭

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明提供可容易地判断偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备偏振板(1A)和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10A)；包含波长550nm时的面内相位差值比剥离膜(16a)的波长550nm时的面内相位差值大500～600nm的区域、且对剥离膜(16a)所具有的双折射进行补偿的相位差板(4)；与偏振板(1A)构成正交尼克尔棱镜的偏振滤光片(3A)，从被检查物(10A)侧或偏振滤光片(3A)侧中的任一侧，以光轴(9)通过该区域的方式使光入射，从另一侧观察偏振滤光片(3A)或被检查物(10A)来判断偏振板(1A)有无缺陷。

公开(公告)号：CN111721502A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010186956.0

申请日：2020-03-17

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 小林信次 ,  宫路隆昭

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明提供可容易地判断偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备偏振板(1A)和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10A)；包含波长550nm时的面内相位差值比剥离膜(16a)的波长550nm时的面内相位差值大500～600nm的区域、且对剥离膜(16a)所具有的双折射进行补偿的相位差板(4)；与偏振板(1A)构成正交尼克尔棱镜的偏振滤光片(3A)，从被检查物(10A)侧或偏振滤光片(3A)侧中的任一侧，以光轴(9)通过该区域的方式使光入射，从另一侧观察偏振滤光片(3A)或被检查物(10A)来判断偏振板(1A)有无缺陷。

公开(公告)号：CN111721776A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010186941.4

申请日：2020-03-17

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 小林信次 ,  宫路隆昭 ,  松田俊介 ,  中川弘也

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明提供可容易地判断圆偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备圆偏振板(1)及由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)、相位差板(4)、以及与圆偏振板(1)构成正交尼克尔棱镜的相位差滤光片(3)，从被检查物(10)侧或相位差滤光片(3)侧中的任一侧使光入射，从另一侧进行观察来判断圆偏振板(1)有无缺陷。在该检查中，作为相位差板(4)而依次使用第一相位差板以及具有与第一相位差板不同的面内相位差的第二相位差板。

公开(公告)号：CN111721776B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202010186941.4

申请日：2020-03-17

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 小林信次 ,  宫路隆昭 ,  松田俊介 ,  中川弘也

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明提供可容易地判断圆偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备圆偏振板(1)及由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)、相位差板(4)、以及与圆偏振板(1)构成正交尼克尔棱镜的相位差滤光片(3)，从被检查物(10)侧或相位差滤光片(3)侧中的任一侧使光入射，从另一侧进行观察来判断圆偏振板(1)有无缺陷。在该检查中，作为相位差板(4)而依次使用第一相位差板以及具有与第一相位差板不同的面内相位差的第二相位差板。