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公开(公告)号：CN116420101A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202180066971.4
申请日：2021-10-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G02B5/30
Abstract: 本发明是对具备层叠偏振膜(11)和相位差膜(14)而成的圆偏振板(1)、以及层叠在圆偏振板(1)的相位差膜(14)侧且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)有无缺陷进行判断的检查方法。配置光源(4)、透过规定的波长的光的带通滤光片(2)、第一偏振部(3A)、被检查物(10)以及第二偏振部(3B)，以使剥离膜(16a)所具有的相位差的影响变小的方式使光向被检查物(10)的入射角θ发生变化。从第二偏振部(3B)侧对被被检查物(10)反射的光进行观察，从而判断圆偏振板(1)有无缺陷。
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