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公开(公告)号：CN103003039A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180036008.8
申请日：2011-07-22
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: B01D46/2418 , B28B11/007 , Y10T29/496 , Y10T29/53
Abstract: 一种固定夹具，具备台座、夹持部件以及吸附部件，该台座具有载置柱状的蜂窝构造体的载置面，该夹持部件固定于台座，并且，夹持载置于载置面上的蜂窝构造体的侧面，该吸附部件固定于台座，并且，吸附载置于蜂窝构造体上的掩模的外周部的台座侧的面。由此，能够固定已对位的蜂窝构造体和掩模，并且难以妨碍掩模的对位。
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