玻璃微粒沉积体的制造方法

    公开(公告)号:CN112262111B

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN201980039356.7

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 一种玻璃微粒沉积体的制造方法,其中,使用硅氧烷作为玻璃原料,将在气化装置中成为气体状的硅氧烷气体和燃烧气体从燃烧器中释放出并燃烧,从而在反应容器内形成玻璃微粒沉积体,在制造了玻璃微粒沉积体的良好部之后,继续向燃烧器供给燃烧气体,同时停止向燃烧器供给作为玻璃原料的硅氧烷,将玻璃微粒沉积体从反应容器中取出,使惰性气体流过从气化装置至燃烧器为止的原料气体端口以进行清洗,如果在来自燃烧器的火焰中没有观察到因硅氧烷气体燃烧而产生的颜色,则停止燃烧气体的供给。

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