公开(公告)号：CN1204578A

公开(公告)日：1999-01-13

申请号：CN98115676.2

申请日：1998-07-03

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小山修司 ,  益田和明 ,  池龟健 ,  三原和明 ,  野俊雄 ,  石永博之

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1625 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1643 ,  B41J2202/03

Abstract: 一种用于液体释放器的孔板的制造方法,该液体释放器配有排出液体的排出口,该方法包括步骤,制备非传导板,该板有在对应于所述排出口的平坦部分周边上形成的凹槽部分;仅在所述非传导板的凹槽部分中,形成可与所述非传导板剥离的第一传导材料;其后,通过电铸方法用第二传导材料镀敷所述第一传导材料形成镀敷部件;剥离所述镀敷部件获得带有所述排出口的孔板。利用这样方法,能够实现与用于光刻的玻璃掩模同样的精度,并使孔区域的变化更小,以形成高密度的孔。

公开(公告)号：CN1089693C

公开(公告)日：2002-08-28

申请号：CN98115676.2

申请日：1998-07-03

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小山修司 ,  益田和明 ,  池龟健 ,  三原和明 ,  樫野俊雄 ,  石永博之

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1625 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1643 ,  B41J2202/03

Abstract: 一种用于液体释放器的孔板的制造方法，该液体释放器配有排出液体的排出口，该方法包括步骤，制备非传导板，该板有在对应于所述排出口的平坦部分周边上形成的凹槽部分；仅在所述非传导板的凹槽部分中，形成可与所述非传导板剥离的第一传导材料；其后，通过电铸方法用第二传导材料镀敷所述第一传导材料形成镀敷部件；剥离所述镀敷部件获得带有所述排出口的孔板。利用这样方法，能够实现与用于光刻的玻璃掩模同样的精度，并使孔区域的变化更小，以形成高密度的孔。