液体喷头的制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1321820C

    公开(公告)日:2007-06-20

    申请号:CN200410059838.4

    申请日:2004-06-22

    Abstract: 本发明提供了一种液体喷头的制造方法,该液体喷头具备基板(11),该基板(11)具有用于从喷出口(16)喷出口液体的电热变换体(13),使该电热变换体(13)与其驱动元件(21~23)导通的电极布线部分(26)和贯通状态的液体供给口(12),该制造方法包括:在形成电极布线部分(26)时使用与电极布线部分(26)相同的材料在液体供给口(12)的形成位置形成替换层的工序;形成覆盖替换层的耐腐蚀层的工序;从与形成电热变换体(13)的面相反一侧的面腐蚀基板(11)去除替换层,使成为液体供给口(12)的部分的耐腐蚀层露出的工序;去除该露出的耐腐蚀层在基板(11)上形成液体供给口(12)的工序,能够谋求缩短液体喷头的制造作业工序。

    液体喷头的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1572505A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN200410059838.4

    申请日:2004-06-22

    Abstract: 本发明提供了一种液体喷头的制造方法,该液体喷头具备基板(11),该基板(11)具有用于从喷出口(16)喷出口液体的电热变换体(13),使该电热变换体(13)与其驱动元件(21~23)导通的电极布线部分(26)和贯通状态的液体供给口(12),该制造方法包括:在形成电极布线部分(26)时使用与电极布线部分(26相同的材料在液体供给口(12)的形成位置形成替换层的工序;形成覆盖替换层的耐腐蚀层的工序;从与形成电热变换体(13)的面相反一侧的面腐蚀基板(11)去除替换层,使成为液体供给口(12)的部分的耐腐蚀层露出的工序;去除该露出的耐腐蚀层在基板(11)上形成液体供给口(12)的工序,能够谋求缩短液体喷头的制造作业工序。

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