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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102637710B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210028220.6
申请日：2012-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: G01J1/42 , H01L27/14627 , H01L27/14629
Abstract: 本公开涉及光电转换元件、光电转换装置和图像感测系统。用于使光路通向所述光电转换部分的部件包括中间部分和具有与中间部分的折射率不同的折射率的外围部分，并且，在与光电转换部分的受光面平行的某一平面内以及在与受光面平行并且比该某一平面更接近受光面的另一平面内，外围部分与中间部分连续并且包围中间部分，并且，外围部分的折射率比包围所述部件的绝缘膜的折射率高，并且，所述另一平面内的外围部分的厚度比所述某一平面内的外围部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN102637710A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210028220.6
申请日：2012-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: G01J1/42 , H01L27/14627 , H01L27/14629
Abstract: 本公开涉及光电转换元件、光电转换装置和图像感测系统。用于使光路通向所述光电转换部分的部件包括中间部分和具有与中间部分的折射率不同的折射率的外围部分，并且，在与光电转换部分的受光面平行的某一平面内以及在与受光面平行并且比该某一平面更接近受光面的另一平面内，外围部分与中间部分连续并且包围中间部分，并且，外围部分的折射率比包围所述部件的绝缘膜的折射率高，并且，所述另一平面内的外围部分的厚度比所述某一平面内的外围部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN102637703A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210024736.3
申请日：2012-02-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14636 , H01L27/14641 , H01L27/14643 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及固态图像拾取设备和用于制造固态图像拾取设备的方法。提供一种用于制造固态图像拾取设备的方法，所述固态图像拾取设备包括：包含光电转换部的基板；和被布置于基板上的波导，所述波导与光电转换部对应并且包含芯部和覆层，所述方法包括：第一步骤和第二步骤，其中，在第一步骤和第二步骤中，通过高密度等离子体增强化学气相沉积，在覆层中的开口中形成要被形成为芯部的部件，并且，在第一步骤之后，在第二步骤中，在基板的背面侧的射频功率与基板的正面侧的射频功率的比率比第一步骤中的该比率高的条件下，通过高密度等离子体增强化学气相沉积，形成要被形成为芯部的部件。
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公开(公告)号：CN102637703B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210024736.3
申请日：2012-02-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14636 , H01L27/14641 , H01L27/14643 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及固态图像拾取设备和用于制造固态图像拾取设备的方法。提供一种用于制造固态图像拾取设备的方法，所述固态图像拾取设备包括：包含光电转换部的基板；和被布置于基板上的波导，所述波导与光电转换部对应并且包含芯部和覆层，所述方法包括：第一步骤和第二步骤，其中，在第一步骤和第二步骤中，通过高密度等离子体增强化学气相沉积，在覆层中的开口中形成要被形成为芯部的部件，并且，在第一步骤之后，在第二步骤中，在基板的背面侧的射频功率与基板的正面侧的射频功率的比率比第一步骤中的该比率高的条件下，通过高密度等离子体增强化学气相沉积，形成要被形成为芯部的部件。
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