液体喷射头制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106976316B

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201710027199.0

    申请日:2017-01-16

    Abstract: 一种制造液体喷射头的方法,液体喷射头具有喷射口形成区域,喷射口形成区域包括:液体喷射能量生成元件,其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板第一表面上;多个液体供给口,各自贯穿基板且具有在第一表面处的开口;形成在第一表面上的液体路径,作为容纳液体喷射能量生成元件和液体供给口的空间;和喷射口,用于通过驱动液体喷射能量生成元件从液体路径喷射液体,方法包括:用第一干膜光阻在基板第一表面形成液体路径形成部件;在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件;在液体路径形成部件中形成液体路径;在喷射口形成部件中形成喷射口;基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔,每个假孔具有在基板第一表面处的开口。

    液体喷射头制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106976316A

    公开(公告)日:2017-07-25

    申请号:CN201710027199.0

    申请日:2017-01-16

    Abstract: 一种制造液体喷射头的方法,液体喷射头具有喷射口形成区域,喷射口形成区域包括:液体喷射能量生成元件,其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板第一表面上;多个液体供给口,各自贯穿基板且具有在第一表面处的开口;形成在第一表面上的液体路径,作为容纳液体喷射能量生成元件和液体供给口的空间;和喷射口,用于通过驱动液体喷射能量生成元件从液体路径喷射液体,方法包括:用第一干膜光阻在基板第一表面形成液体路径形成部件;在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件;在液体路径形成部件中形成液体路径;在喷射口形成部件中形成喷射口;基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔,每个假孔具有在基板第一表面处的开口。

    液体喷射头和制造液体喷射头的方法

    公开(公告)号:CN110877486B

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN201910825030.9

    申请日:2019-09-03

    Abstract: 本发明涉及液体喷射头和制造液体喷射头的方法。液体喷射头包括底板和至少两个器件芯片,在器件芯片中形成有用于喷射液体的喷射口,并且器件芯片布置在底板上;至少一个第一基准标记设置在底板上;第二基准标记设置在每个器件芯片上;在相邻器件芯片之间形成至少一个空间;第二基准标记和存在于该空间中的第一基准标记布置在排列器件芯片所沿的排列轴线上。

    液体喷射头和制造液体喷射头的方法

    公开(公告)号:CN110877486A

    公开(公告)日:2020-03-13

    申请号:CN201910825030.9

    申请日:2019-09-03

    Abstract: 本发明涉及液体喷射头和制造液体喷射头的方法。液体喷射头包括底板和至少两个器件芯片,在器件芯片中形成有用于喷射液体的喷射口,并且器件芯片布置在底板上;至少一个第一基准标记设置在底板上;第二基准标记设置在每个器件芯片上;在相邻器件芯片之间形成至少一个空间;第二基准标记和存在于该空间中的第一基准标记布置在排列器件芯片所沿的排列轴线上。

    用于制造液体喷射头的方法

    公开(公告)号:CN107718882B

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201710682892.1

    申请日:2017-08-11

    Abstract: 本发明公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括:在基板上设置负型的第一感光树脂层;通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案;在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层;在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层;通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案;使所述第一、第二和第三感光树脂层显影;在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线;以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

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