公开(公告)号：CN113412185B

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202080013531.8

申请日：2020-01-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： L·L·辛普森 ,  S·W·伯恩斯 ,  J·巴廷 ,  N·昆斯纳塔迪诺夫 ,  C·E·琼斯 ,  C·W·科恩 ,  张威 ,  J·W·艾文

IPC: B29C59/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/004

Abstract: 一个实施例是包括生成液滴图案信息的方法。所述方法可以包括接收图案信息。所述图案信息包括以下中的一个或两个：代表性基板的基板图案；以及代表性模板的模板图案。所述方法可以进一步包括接收关于特定基板的偏移信息，所述偏移信息代表所述特定基板相对于参考状态的测量状态。所述液滴图案信息可以表示在所述特定基板上要放置可成型材料的微滴的多个位置。所述方法可以进一步包括输出代表填充模板和处于所述测量状态的所述特定基板之间的体积的可成型材料的所述液滴图案信息，并且所述可成型材料不扩散到所述特定基板的边缘处的边界区域中。

公开(公告)号：CN113412185A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202080013531.8

申请日：2020-01-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： L·L·辛普森 ,  S·W·伯恩斯 ,  J·巴廷 ,  N·昆斯纳塔迪诺夫 ,  C·E·琼斯 ,  C·W·科恩 ,  张威 ,  J·W·艾文

IPC: B29C59/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/004

Abstract: 一个实施例是包括生成液滴图案信息的方法。所述方法可以包括接收图案信息。所述图案信息包括以下中的一个或两个：代表性基板的基板图案；以及代表性模板的模板图案。所述方法可以进一步包括接收关于特定基板的偏移信息，所述偏移信息代表所述特定基板相对于参考状态的测量状态。所述液滴图案信息可以表示在所述特定基板上要放置可成型材料的微滴的多个位置。所述方法可以进一步包括输出代表填充模板和处于所述测量状态的所述特定基板之间的体积的可成型材料的所述液滴图案信息，并且所述可成型材料不扩散到所述特定基板的边缘处的边界区域中。