一种用于制备LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物和LDI干膜

    公开(公告)号:CN114153122A

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202111117655.3

    申请日:2021-09-23

    Abstract: 本发明涉及一种用于制备LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物及LDI干膜。根据本发明的用于制备LDI干膜的阳离子自由基聚合组合物,碱溶性聚合物、自由基聚合性化合物和引发剂;其中,碱溶性聚合物的侧链具有氧杂环丁烷基团,且引发剂包括阳离子引发剂和自由基引发剂。通过激光对含有本发明阳离子自由基聚合组合物的LDI干膜直接曝光,由于碱溶性聚合物侧链具有的氧杂环丁烷基团和阳离子引发剂配合发生了交联反应,在碱溶性聚合物链内部及聚合物链之间形成了网状结构,提高了LDI干膜的硬度和粘结强度,进而提高了LDI干膜的感光度、解析度、密合性和盖孔率,且改善了抗蚀剂形状。

    自由基-阳离子混杂光固化性组合物及感光性抗蚀干膜

    公开(公告)号:CN112180680A

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202010976789.X

    申请日:2020-09-16

    Abstract: 本发明涉及一种自由基‑阳离子混杂光固化性组合物,其包含(a)至少一种碱溶性聚合物,(b)至少一种光聚合性化合物,(c)至少一种红外吸收光敏剂和(d)至少一种光聚合引发剂,其中,作为组分(b)的光聚合性化合物含有(b1)至少一种自由基聚合性化合物和(b2)至少一种阳离子聚合性化合物,其选自链烯基醚类化合物和/或环氧乙烷类化合物和/或氮杂环丙烷类化合物和/或氧杂环丁烷类化合物,作为组分(c)的红外吸收光敏剂包含至少一种多甲川花菁素化合物。本发明的自由基‑阳离子混杂光固化性组合物适用于制备感光性抗蚀干膜。

    阳离子光固化性组合物及感光性抗蚀干膜

    公开(公告)号:CN112147843A

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN202010976806.X

    申请日:2020-09-16

    Abstract: 本发明涉及一种阳离子光固化性组合物,其包含(a)至少一种碱溶性聚合物,(b)至少一种光聚合性化合物,(c)至少一种红外吸收光敏剂和(d)至少一种光聚合引发剂,其中,作为组分(b)的光聚合性化合物为至少一种阳离子聚合性化合物,其选自链烯基醚类化合物和/或环氧乙烷类化合物和/或氮杂环丙烷类化合物和/或氧杂环丁烷类化合物,作为组分(c)的红外吸收光敏剂包含至少一种多甲川花菁素化合物。本发明的阳离子光固化性组合物适用于制备感光性抗蚀干膜。

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