公开(公告)号：CN102096311A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010582088.4

申请日：2010-12-10

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 原田大实 ,  森川护 ,  竹内正树 ,  柴野由纪夫

IPC: G03F1/14 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/60 ,  G03F1/14 ,  Y10T428/24488

Abstract: 提供了一种形成光掩模的玻璃基板，其具有方形主表面，其中在该主表面上限定两个条带区域，使得每一区域跨展在侧边内2mm至10mm之间并且不包括从该侧边的相对的端部向内延伸2mm的端部部分，对两个条带区域中的每一个计算最小二乘平面，两个条带区域的最小二乘平面的法线之间包括的角度在10秒内，并且两个条带区域之间高度差为直至0.5μm。

公开(公告)号：CN101430499A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200810188750.0

申请日：2008-07-31

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 森川护 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  B65D81/02 ,  B65D81/30 ,  B65D85/48 ,  B65D85/30

CPC classification number: H01L21/67359 ,  H01L21/67393 ,  Y10T428/13 ,  Y10T428/131 ,  Y10T428/1314

Abstract: 一种用于容纳形成光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器，其包括面向玻璃衬底的前和后表面的内壁，和提供在容器内壁上用于收纳用以吸附来自容器的释气成分的吸附剂的贮存器。比率A/B在1.0－120m2/cm2范围内，设A是吸附剂的BET比表面积(m2/g)乘以吸附剂总重量(g)的乘积(m2)，和B是玻璃衬底前和后表面的总面积(cm2)。

公开(公告)号：CN102096311B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201010582088.4

申请日：2010-12-10

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 原田大实 ,  森川护 ,  竹内正树 ,  柴野由纪夫

IPC: G03F1/60 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/60 ,  G03F1/14 ,  Y10T428/24488

Abstract: 提供了一种形成光掩模的玻璃基板，其具有方形主表面，其中在该主表面上限定两个条带区域，使得每一区域跨展在侧边内2mm至10mm之间并且不包括从该侧边的相对的端部向内延伸2mm的端部部分，对两个条带区域中的每一个计算最小二乘平面，两个条带区域的最小二乘平面的法线之间包括的角度在10秒内，并且两个条带区域之间高度差为直至0.5μm。

公开(公告)号：CN101430499B

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN200810188750.0

申请日：2008-07-31

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 森川护 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: G03F1/66 ,  G03F7/20 ,  B65D81/02 ,  B65D81/30 ,  B65D85/48 ,  B65D85/30

CPC classification number: H01L21/67359 ,  H01L21/67393 ,  Y10T428/13 ,  Y10T428/131 ,  Y10T428/1314

Abstract: 一种用于容纳形成光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器，其包括面向玻璃衬底的前和后表面的内壁，和提供在容器内壁上用于收纳用以吸附来自容器的释气成分的吸附剂的贮存器。比率A/B在1.0-120m2/cm2范围内，设A是吸附剂的BET比表面积(m2/g)乘以吸附剂总重量(g)的乘积(m2)，和B是玻璃衬底前和后表面的总面积(cm2)。