曝光方法、彩色滤光片的制造方法及曝光装置

    公开(公告)号:CN102308259B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201080006850.2

    申请日:2010-02-04

    CPC classification number: G03F7/0007 G02B5/201 G03F1/50 G03F7/2022

    Abstract: 本发明提供一种曝光方法、彩色滤光片的制造方法及曝光装置,该曝光方法中,当使用设有多个掩膜图案的光掩膜进行曝光时,不需要将光掩膜移动到曝光装置的照射区域,便能在基板上的不同区域将与形成各个不同的彩色滤光片相对应的各光阻图案曝光。将具有用于将构成第1彩色滤光片的着色像素的一部分曝光的第1掩膜图案、及用于将构成第2彩色滤光片的着色像素的一部分曝光的第2掩膜图案的光掩膜相对于光源固定,一边搬运基板,一边将来自光源的光选择性地照射第1掩膜图案,将第1区域上的光阻剂连续地曝光,并且,一边搬运基板,一边将来自光源的光选择性地照射第2掩膜图案,将第2区域上的光阻剂连续地曝光。

    曝光方法、彩色滤光片的制造方法及曝光装置

    公开(公告)号:CN102308259A

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN201080006850.2

    申请日:2010-02-04

    CPC classification number: G03F7/0007 G02B5/201 G03F1/50 G03F7/2022

    Abstract: 本发明提供一种曝光方法、彩色滤光片的制造方法及曝光装置,该曝光方法中,当使用设有多个掩膜图案的光掩膜进行曝光时,不需要将光掩膜移动到曝光装置的照射区域,便能在基板上的不同区域将与形成各个不同的彩色滤光片相对应的各掩膜图案曝光。将具有用于将构成第1彩色滤光片的着色像素的一部分曝光的第1掩膜图案、及用于将构成第2彩色滤光片的着色像素的一部分曝光的第2掩膜图案的光掩膜相对于光源固定,一边搬运基板,一边将来自光源的光选择性地照射第1掩膜图案,将第1区域上的光阻剂连续地曝光,并且,一边搬运基板,一边将来自光源的光选择性地照射第2掩膜图案,将第2区域上的光阻剂连续地曝光。

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