公开(公告)号：CN115341172B

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202110520810.X

申请日：2021-05-13

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 野本裕香 ,  锅谷广美 ,  桶屋雄太

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 提供能够抑制纤维向蒸镀掩模附着的蒸镀掩模。本发明的蒸镀掩模为金属制的蒸镀掩模(10)。具备栅格构造(10M)，该栅格构造(10M)具备表面(10F)以及背面，且具有划分多个掩模孔(10H)的二维的网眼状，该多个掩模孔将位于表面(10F)的大开口(HL)与位于背面的小开口连接。在表面(10F)中，彼此相邻的大开口(HL)的边界处的以JIS B 0601：2013为基准的算术平均粗糙度Ra为1.35μm以下，边界处的以JIS B 0601：2013为基准的最大高度Rz为6.8μm以下。

公开(公告)号：CN115341172A

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN202110520810.X

申请日：2021-05-13

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 野本裕香 ,  锅谷广美 ,  桶屋雄太

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 提供能够抑制纤维向蒸镀掩模附着的蒸镀掩模。本发明的蒸镀掩模为金属制的蒸镀掩模(10)。具备栅格构造(10M)，该栅格构造(10M)具备表面(10F)以及背面，且具有划分多个掩模孔(10H)的二维的网眼状，该多个掩模孔将位于表面(10F)的大开口(HL)与位于背面的小开口连接。在表面(10F)中，彼此相邻的大开口(HL)的边界处的以JIS B 0601：2013为基准的算术平均粗糙度Ra为1.35μm以下，边界处的以JIS B 0601：2013为基准的最大高度Rz为6.8μm以下。