公开(公告)号：CN119713870A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411740276.3

申请日：2024-11-29

Applicant: 创鑫热瓷炉(常州)有限公司

Inventor： 张完在 ,  王豹

IPC: F27D11/02

Abstract: 本发明涉及一种立式炉体装配辅助装置，涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配技术领域，包括基座组件和调节支撑组件两个组成部分。所述基座组件具有预定的作业尺寸与支撑力，并设有预定作业尺寸的通孔，可进行相应的承载与衔接作业。所述调节支撑组件置于所述基座组件的作业面表面，具有预定的作业尺寸，且为多个，并呈陈列式分布于所述基座的作业面表面，可进行预定范围的活动调节作业。本发明通过所设调节支撑组件可通过立式炉体的底部保温材料处插入，并将炉膛中加热丝的固定卡扣出顶起，可有效避免作业过程中加热丝下沉现象的发生。同时所设调节支撑组件可灵活进行作业尺寸的调动，可适用于不同尺寸的立式炉体，使用范围广泛，且操作便捷。

公开(公告)号：CN119826550A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202411917398.5

申请日：2024-12-24

Applicant: 创鑫热瓷炉(常州)有限公司

Inventor： 张完在 ,  王豹

IPC: F27D11/02

Abstract: 本发明涉及一种多级组装式加热丝结构，涉及卧式加热炉领域，包括连接组件和承托组件两个组成部分。所述连接组件包括与所述加热丝本体相连，具有预定作业尺寸与支撑力的支撑固定块；与所述支撑固定块相连，具有预定的作业尺寸与支撑力的卡扣。所述支撑固定块与所述卡扣均为多个，并呈阵列式排布，可进行相应的衔接与连通作业。所述承托组件包括与所述支撑固定块相连，具有预定作业长度与支撑力的穿孔单元；与所述穿孔单元活动相连，具有预定作业尺寸与支撑力，并可进行相应活动调节作业的锁定支撑单元。本发明通过所设承托组件可从作业方向的横向与纵向对炉膛内的加热丝进行固定承托，有效避免炉膛下沉的现象发生。