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公开(公告)号：CN106206352A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610712826.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种微纳级半导体光电特性三维检测系统，根据本发明的微纳级半导体光电特性三维检测系统包括：光信号激励源/CCD显微镜1，用于为晶圆4提供光激励输入信号，并提供机器视觉；IV/CV/脉冲/噪声测量装置12，用于对晶圆4提供激励信号并采集被测晶圆4输出信号；超低温环境水汽检测循环除湿装置13，用于检测并降低低水汽含量；大跨层温度控制装置14，为被测晶圆提供宽温环境；微弱信号提取单元11，用于测量被测晶圆输出的微弱信号；双重针压检测装置3及探针2，用于接触晶圆并对准位置及接触面；卡盘5，用于承载被测晶圆；四轴移动台体6，用于XYZ轴线性移动和R轴旋转移动；密封屏蔽暗箱7，用于为被测晶圆提供稳定的光暗、温湿度测试环境；控制计算机和数据分析软件15，用于实现系统的一体化协调控制，被测晶圆检测数据的处理及分析。根据本发明的微纳级半导体光电特性三维检测系统可实现高精度、高可靠的高低温条件
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公开(公告)号：CN118504218A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410559242.8
申请日：2024-05-08
Applicant: 北京信息科技大学 , 北方激光研究院有限公司
IPC: G06F30/20 , G06F111/08
Abstract: 本申请提供了一种融合型蒙特卡罗的激光散射传输方法及装置，其中，该方法包括：基于发射延迟补偿来建立激光发射模型，并基于散射补偿因子来建立气溶胶传输模型；基于所述激光发射模型和所述气溶胶传输模型，利用蒙特卡罗直接模拟法进行光子的传输跟踪，再通过指向概率融合期望的方法计算所述光子经过散射后能够被接收端捕获的概率。本申请解决了现有技术中未进入探测器的光子仍然需要模拟导致浪费计算机的内存的技术问题。
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公开(公告)号：CN106206352B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201610712826.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种微纳级半导体光电特性三维检测系统，根据本发明的微纳级半导体光电特性三维检测系统包括：光信号激励源/CCD显微镜1，用于为晶圆4提供光激励输入信号，并提供机器视觉；IV/CV/脉冲/噪声测量装置12，用于对晶圆4提供激励信号并采集被测晶圆4输出信号；超低温环境水汽检测循环除湿装置13，用于检测并降低低水汽含量；大跨层温度控制装置14，为被测晶圆提供宽温环境；微弱信号提取单元11，用于测量被测晶圆输出的微弱信号；双重针压检测装置3及探针2，用于接触晶圆并对准位置及接触面；卡盘5，用于承载被测晶圆；四轴移动台体6，用于XYZ轴线性移动和R轴旋转移动；密封屏蔽暗箱7，用于为被测晶圆提供稳定的光暗、温湿度测试环境；控制计算机和数据分析软件15，用于实现系统的一体化协调控制，被测晶圆检测数据的处理及分析。根据本发明的微纳级半导体光电特性三维检测系统可实现高精度、高可靠的高低温条件下自动化的半导体光电特性三维检测。
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公开(公告)号：CN106230339A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610714612.6
申请日：2016-08-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: H02P25/06
CPC classification number: H02P25/06
Abstract: 一种直线电机大行程位移精度精密控制方法，该方法包括以下步骤：（1）研究直线电机工作原理，建立直线电机数学模型；（2）在建立直线电机数学模型的基础上，针对系统的动态品质要求进行内膜控制器设计；（3）面对实际控制对象模型误差及驱动器饱和效应对控制器的约束，在内模控制的基础上对控制器结构加以改进建立模型状态反馈控制器；（4）建立直线电机精密位移移动平台轨迹跟踪控制器。本发明应用于直线电机驱动控制系统，在建立直线电机动态数学模型及设计多个控制器基础上，克服了控制直驱伺服系统的非线性、不确定性和动态复杂性，实现了大行程下位移精度精密控制，为微纳级半导体光电特性三维检测仪等大行程、高精度检测提供精准移动平台。
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