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公开(公告)号：CN114071346A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111352808.2
申请日：2021-11-16
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了双金属板夹持压电小柱阵列结构敏感元件及其制备工艺，所述敏感元件包括压电小柱阵列，所述压电小柱阵列包括若干压电小柱，所述压电小柱的两端分别设置有第一金属板和第二金属板，所述第二金属板厚度大于所述第一金属板；所述制备工艺为，步骤1，沿X、Y方向切割压电材料片上表面，形成带基底的压电小柱阵列；步骤2，在压电小柱阵列的上表面黏贴第二金属板，然后翻转所述压电材料片，沿X、Y方向切割压电材料片下表面，形成完全贯穿的压电小柱阵列,在所述压电小柱阵列的下表面贴附第一金属板；本发明为双金属板夹持压电小柱阵列结构敏感元件及其制备工艺，通过上述的方案，提高了机电耦合系数，且提高了换能器的接收灵敏度。
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公开(公告)号：CN114071346B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202111352808.2
申请日：2021-11-16
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了双金属板夹持压电小柱阵列结构敏感元件及其制备工艺，所述敏感元件包括压电小柱阵列，所述压电小柱阵列包括若干压电小柱，所述压电小柱的两端分别设置有第一金属板和第二金属板，所述第二金属板厚度大于所述第一金属板；所述制备工艺为，步骤1，沿X、Y方向切割压电材料片上表面，形成带基底的压电小柱阵列；步骤2，在压电小柱阵列的上表面黏贴第二金属板，然后翻转所述压电材料片，沿X、Y方向切割压电材料片下表面，形成完全贯穿的压电小柱阵列,在所述压电小柱阵列的下表面贴附第一金属板；本发明为双金属板夹持压电小柱阵列结构敏感元件及其制备工艺，通过上述的方案，提高了机电耦合系数，且提高了换能器的接收灵敏度。
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