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公开(公告)号：CN113855034A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111062293.2
申请日：2021-09-10
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统和微弱信号测量技术领域，尤其涉及一种微针电极及其制备方法。其中，微针电极包括：微针、夹持柄和输出端口；微针的数量为多个；各微针内沿夹持柄的一侧边均匀分布；各微针的朝向一致；输出端口设置在夹持柄的另一侧边；微针上设置有至少两个电极区；其中同一微针上的各个电极区距微针的针尖的距离不同；电极区为记录电极点或刺激电极点；输出端口设置有与电极区一一对应的输出接点；电极区通过金属引线连接对应的输出接点；微针、持柄和输出端口共用同一块基板；基板为表面涂覆有绝缘层的金属衬底。如此微针电极可以同时采集记录脑中不同深度的信号数据。同时，采用金属衬底，使得基板不易断裂。
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