用于可调谐边缘定向增强的光学超表面滤波器及工作方法

    公开(公告)号:CN119960098A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202411794459.3

    申请日:2024-12-09

    Abstract: 用于可调谐边缘定向增强的光学超表面滤波器及方法,能够采用简单的机械调谐的方式旋转超表面的角度,实现振幅或相位样本的边缘增强方向的调谐,以一种高效且紧凑的方式实现不同方向边缘滤波,具有芯片级超快光学计算的优点。其为超表面和光学4F系统构建的偏振敏感的竖直方向边缘检测滤波器,超表面(10)包括:非晶硅长方体纳米砖单元(1)、二氧化硅衬底(2);每个非晶硅长方体纳米砖单元具有固定的方形晶格常数Px=Py=300nm和高度H=365nm,以及设计好的L=129nm和W=90nm,非晶硅长方体纳米砖单元周期排布在二氧化硅衬底上;通过改变非晶硅长方体纳米砖单元的取向角θ来改变相位,完成所需相位分布。

    基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置

    公开(公告)号:CN119397789A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411505867.2

    申请日:2024-10-28

    Abstract: 本发明公开基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置,只需载入轮廓仪测得的面形数据文件以及衍射光学元件的设计参数文件便可对轮廓仪测得的面形数据的位姿误差进行校正,并在同时对该面形的各评价指标进行计算,简化了操作流程并提高了对于衍射光学元件面形评价的准确性。方法包括:(1)读取测量数据以及设计参数;(2)最小二乘法拟合;(3)补偿位姿误差;(4)提取台阶部分;(5)检测梯度突变点以确定环带位置;(6)计算台阶高度;(7)剔除补偿位姿误差后的面形数据的各台阶附近部分数据;(8)计算面形误差评价指标。

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