一种硅基微小型MEMS滤波器

    公开(公告)号:CN108134164A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201711192864.8

    申请日:2017-11-24

    Inventor: 金钊 杜鑫 王幼松

    CPC classification number: H01P1/20

    Abstract: 本发明公开了一种硅基微小型MEMS滤波器,包括:硅基(1),还包括:硅基杆(3)、硅基过渡线(4)、底层金属层(5)、顶层金属层(7)和金属馈线(8)。滤波器工作时,微波输入信号经由一端的金属馈线(8)馈入,经过硅基过渡线(4),到达N个成交指形的硅基杆(3)处,并由此对通带频率内信号提供传输特性并在阻带内提供衰减特性,再经过另一端的硅基过渡线(4)及金属馈线(8)将通带频率内信号传输出去。本发明尺寸小、结构简单、易于集成、性能优良。

Patent Agency Ranking