公开(公告)号：CN114850997A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210227877.9

申请日：2022-03-08

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 戴键 ,  高司达 ,  候迎港 ,  李鑫敏 ,  李晓琼 ,  徐坤

IPC: B24B7/22 ,  B24B41/06 ,  B24B37/08 ,  B24B37/28 ,  G02B5/00 ,  C30B33/02 ,  C30B29/30 ,  C30B29/12

Abstract: 本发明提供一种尺寸可控的超薄高品质回音壁光学晶体微腔制备方法和定心装置，该方法包括：将晶体材料切割成圆片并用抛光盘研磨减薄晶体厚度；将光学晶体微腔坯料置于显微镜载物台上，调节载物台的二维调节旋钮，使光学晶体微腔坯料中心和物镜测微尺的原点重合；将底端粘附粘合剂的装夹杆贯穿装夹杆固定架顶端通孔，使装夹杆与物镜测微尺的原点对齐；调整装夹杆高度使光学晶体微腔坯料通过紫外线固化胶粘贴固定在装夹杆底端完成定心；将装夹杆从装夹杆固定架取下，对光学晶体微腔坯料外圆进行倒角处理；利用砂纸对光学晶体微腔片外圆表面进行研磨；对光学晶体微腔片进行抛光处理，基于抛光处理后的光学晶体微腔片得到光学晶体微腔。