公开(公告)号：CN101046459A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200710040005.7

申请日：2007-04-26

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 杨平雄 ,  秦苏梅

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种多孔二氧化锡(SnO2)多层纳米薄膜及其合成方法，属气敏传感材料和气敏传感制备的技术领域。该薄膜为多层依次沉积在单晶硅基底上的多孔二氧化锡纳米薄膜，层数为6～12层。以金属无机盐SnCl2·2H2O和无水乙醇分别为前驱体和溶剂，经过制备用来制作二氧化锡纳米薄膜的溶液、加入表面活性剂、制备溶胶、匀胶、退火和得成品六个步骤，将多层多孔二氧化锡纳米薄膜依次沉积在单晶硅基底上，制得成品，多孔二氧化锡多层纳米薄膜。所述的方法工艺简单，能制得化学稳定性好、功耗小、比表面积大和气敏灵敏度高的多孔二氧化锡多层纳米薄膜。所述的薄膜适于用来制作测量微量气体的气敏传感器。

公开(公告)号：CN101046459B

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200710040005.7

申请日：2007-04-26

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 杨平雄 ,  秦苏梅

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种多孔二氧化锡(SnO2)多层纳米薄膜及其合成方法，属气敏传感材料和气敏传感制备的技术领域。该薄膜为多层依次沉积在单晶硅基底上的多孔二氧化锡纳米薄膜，层数为6～12层。以金属无机盐SnCl2·2H2O和无水乙醇分别为前驱体和溶剂，经过制备用来制作二氧化锡纳米薄膜的溶液、加入表面活性剂、制备溶胶、匀胶、退火和得成品六个步骤，将多层多孔二氧化锡纳米薄膜依次沉积在单晶硅基底上，制得成品，多孔二氧化锡多层纳米薄膜。所述的方法工艺简单，能制得化学稳定性好、功耗小、比表面积大和气敏灵敏度高的多孔二氧化锡多层纳米薄膜。所述的薄膜适于用来制作测量微量气体的气敏传感器。