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公开(公告)号:CN105372483B
公开(公告)日:2017-04-05
申请号:CN201510915680.4
申请日:2015-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R19/25
Abstract: 本发明公开了一种射频电压电流检测装置,主要针对于中频至高频范围内双导体传输系统中电压和电流检测。该方法采用在传输线双导体之间放置一金属片,金属片通过电容器与外导体相接,金属片与内导体形成等效电容,通过上述两电容的分压作用,在金属片上得到内外导体间电压的取样信号;在传输线同一位置放置一个空心线圈,其感应电压即对应该处传输线电流大小。采用一组已知频率和功率的射频信号,以及一组已知阻抗的负载,对取样信号的幅值和相位差进行标定,修正之后即可得到准确的电压、电流及相位差信息。该发明的特点是:安装调节方便、可对任意负载进行测量、输出方式灵活、有较好的实用价值和应用前景。
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公开(公告)号:CN105137169B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201510621963.8
申请日:2015-09-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明公开了一种低射频功率检测电路,该检测电路将射频输入信号连接至匹配负载,然后经过基于检波二极管的峰值检测电路处理,峰值检测电路的输出连接至峰值补偿电路,使得补偿之后的直流电平与射频信号峰值基本一致。补偿电路的输出连接至乘法器的两个输入端,乘法器的输出经滤波、放大、零位补偿之后,在检测电路输出端得到一个与待测信号功率成正比的直流信号。该发明的特点是:各功能电路相对独立,调试方便;补偿电路可精细调节,在一定频率和功率范围内测量准确度较高;通过设定电路参数,响应速度灵活可调;能满足高达几百毫瓦的射频信号功率测量,有较好的实用价值和应用前景。
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公开(公告)号:CN105372483A
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201510915680.4
申请日:2015-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R19/25
Abstract: 本发明公开了一种射频电压电流检测装置,主要针对于中频至高频范围内双导体传输系统中电压和电流检测。该方法采用在传输线双导体之间放置一金属片,金属片通过电容器与外导体相接,金属片与内导体形成等效电容,通过上述两电容的分压作用,在金属片上得到内外导体间电压的取样信号;在传输线同一位置放置一个空心线圈,其感应电压即对应该处传输线电流大小。采用一组已知频率和功率的射频信号,以及一组已知阻抗的负载,对取样信号的幅值和相位差进行标定,修正之后即可得到准确的电压、电流及相位差信息。该发明的特点是:安装调节方便、可对任意负载进行测量、输出方式灵活、有较好的实用价值和应用前景。
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公开(公告)号:CN105137169A
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201510621963.8
申请日:2015-09-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明公开了一种低射频功率检测电路,该检测电路将射频输入信号连接至匹配负载,然后经过基于检波二极管的峰值检测电路处理,峰值检测电路的输出连接至峰值补偿电路,使得补偿之后的直流电平与射频信号峰值基本一致。补偿电路的输出连接至乘法器的两个输入端,乘法器的输出经滤波、放大、零位补偿之后,在检测电路输出端得到一个与待测信号功率成正比的直流信号。该发明的特点是:各功能电路相对独立,调试方便;补偿电路可精细调节,在一定频率和功率范围内测量准确度较高;通过设定电路参数,响应速度灵活可调;能满足高达几百毫瓦的射频信号功率测量,有较好的实用价值和应用前景。
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公开(公告)号:CN104135812A
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN201410336152.9
申请日:2014-07-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种基于等离子体发光强度检测的射频离子源保护装置,包括光纤准直镜、光纤过真空法兰、光纤适配器、第一石英光纤、光强比较器和联锁保护电路;所述光纤过真空法兰由穿过真空法兰的第二石英光纤构成,所述真空法兰用于使射频离子源放电腔实现真空密封;所述光纤准直镜固定在所述第二石英光纤的一端,用于收集射频离子源放电腔内的等离子体发光,所述第二石英光纤的另一端通过所述光纤适配器连接所述第一石英光纤的一端,所述第一石英光纤的另一端依次连接所述光强比较器和所述联锁保护电路。本发明根据光强检测结果决定是否采取相应的保护措施,增加了安全冗余,提高了系统的可靠性,为射频离子源提供了一种新的保护手段。
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公开(公告)号:CN204014245U
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201420389844.5
申请日:2014-07-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本实用新型公开了一种基于等离子体发光强度检测的射频离子源保护装置,包括光纤准直镜、光纤过真空法兰、光纤适配器、第一石英光纤、光强比较器和联锁保护电路;所述光纤过真空法兰由穿过真空法兰的第二石英光纤构成,所述真空法兰用于使射频离子源放电腔实现真空密封;所述光纤准直镜固定在所述第二石英光纤的一端,用于收集射频离子源放电腔内的等离子体发光,所述第二石英光纤的另一端通过所述光纤适配器连接所述第一石英光纤的一端,所述第一石英光纤的另一端依次连接所述光强比较器和所述联锁保护电路。本实用新型根据光强检测结果决定是否采取相应的保护措施,增加了安全冗余,提高了系统的可靠性,为射频离子源提供了一种新的保护手段。
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公开(公告)号:CN205049652U
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201520748913.1
申请日:2015-09-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本实用新型公开了一种低射频功率检测电路,该检测电路将射频输入信号连接至匹配负载,然后经过基于检波二极管的峰值检测电路处理,峰值检测电路的输出连接至峰值补偿电路,使得补偿之后的直流电平与射频信号峰值基本一致。补偿电路的输出连接至乘法器的两个输入端,乘法器的输出经滤波、放大、零位补偿之后,在检测电路输出端得到一个与待测信号功率成正比的直流信号。该实用新型的特点是:各功能电路相对独立,调试方便;补偿电路可精细调节,在一定频率和功率范围内测量准确度较高;通过设定电路参数,响应速度灵活可调;能满足高达几百毫瓦的射频信号功率测量,有较好的实用价值和应用前景。
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公开(公告)号:CN205229289U
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201521027111.8
申请日:2015-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R19/25
Abstract: 本实用新型公开了一种射频电压电流检测装置,主要针对于中频至高频范围内双导体传输系统中电压和电流检测。该方法采用在传输线双导体之间放置一金属片,金属片通过电容器与外导体相接,金属片与内导体形成等效电容,通过上述两电容的分压作用,在金属片上得到内外导体间电压的取样信号;在传输线同一位置放置一个空心线圈,其感应电压即对应该处传输线电流大小。采用一组已知频率和功率的射频信号,以及一组已知阻抗的负载,对取样信号的幅值和相位差进行标定,修正之后即可得到准确的电压、电流及相位差信息。该实用新型的特点是:安装调节方便、可对任意负载进行测量、输出方式灵活、有较好的实用价值和应用前景。
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