公开(公告)号：CN106001827A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610414635.5

申请日：2016-06-14

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 杨晓非 ,  李家普 ,  欧阳君 ,  陈泽基 ,  王鲜然 ,  李俊宇 ,  朱本鹏 ,  陈实

IPC: B23K1/20 ,  B23K1/00 ,  G01L1/24

CPC classification number: B23K1/206 ,  B23K1/0008 ,  B23K2101/36 ,  G01L1/242

Abstract: 本发明公开了一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法，该方法包括以下步骤：1)选取长方体形状的硅片并进行超声清洗；2)用磁控溅射的方法在硅片上溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；3)选取可以在高温条件下使用的光纤光栅并进行超声清洗；4)用磁控溅射的方法在光纤光栅上溅射一层一定厚度的金属薄膜；5)将镀了金属薄膜的光纤光栅固定在磁致伸缩薄膜上；6)采用回流焊的方法，将镀了金属薄膜的光纤光栅焊接在磁致伸缩薄膜上，形成可靠的焊点，从而在光纤光栅与磁致伸缩薄膜之间建立长期的机械连接。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器性能良好。

公开(公告)号：CN106001827B

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201610414635.5

申请日：2016-06-14

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 杨晓非 ,  李家普 ,  欧阳君 ,  陈泽基 ,  王鲜然 ,  李俊宇 ,  朱本鹏 ,  陈实

IPC: G01D5/00 ,  G01L1/24 ,  H01L41/00 ,  B23K1/20 ,  B23K1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法，该方法包括以下步骤：1)选取长方体形状的硅片并进行超声清洗；2)用磁控溅射的方法在硅片上溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；3)选取可以在高温条件下使用的光纤光栅并进行超声清洗；4)用磁控溅射的方法在光纤光栅上溅射一层一定厚度的金属薄膜；5)将镀了金属薄膜的光纤光栅固定在磁致伸缩薄膜上；6)采用回流焊的方法，将镀了金属薄膜的光纤光栅焊接在磁致伸缩薄膜上，形成可靠的焊点，从而在光纤光栅与磁致伸缩薄膜之间建立长期的机械连接。本发明方法工艺简单，操作方便，制造的传感器性能良好。