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公开(公告)号:CN103839905A
公开(公告)日:2014-06-04
申请号:CN201410021178.4
申请日:2014-01-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L23/473 , H01L23/36 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器及其制造方法,硅基微通道换热器由硅基板和具有电流体动力微泵的氮化铝顶板通过键合密封而成,所述的硅基板表面通过反应离子蚀刻法蚀刻出微沟槽,形成冷却液丙酮的流动通道以及换热的场所,所述氮化铝顶板的电流体动力微泵通过激光雕刻、沉金或离子溅射、蒸镀工艺制作。由于电流体动力微泵具有流动稳定、运行可靠、流量控制精确、能耗低等特点,且能够与硅基微通道有效地集成到一体,有效的节省了微电子元器件内有限的空间,在微电子散热领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN103839905B
公开(公告)日:2016-10-05
申请号:CN201410021178.4
申请日:2014-01-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L23/473 , H01L23/36 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器及其制造方法,硅基微通道换热器由硅基板和具有电流体动力微泵的氮化铝顶板通过键合密封而成,所述的硅基板表面通过反应离子蚀刻法蚀刻出微沟槽,形成冷却液丙酮的流动通道以及换热的场所,所述氮化铝顶板的电流体动力微泵通过激光雕刻、沉金或离子溅射、蒸镀工艺制作。由于电流体动力微泵具有流动稳定、运行可靠、流量控制精确、能耗低等特点,且能够与硅基微通道有效地集成到一体,有效的节省了微电子元器件内有限的空间,在微电子散热领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN103629960A
公开(公告)日:2014-03-12
申请号:CN201310626276.6
申请日:2013-11-28
Applicant: 华南理工大学
IPC: F28D15/02
Abstract: 本发明公开了一种具有粗化结构的脉动热管,脉动热管内灌注丙酮作为工质;所述脉动热管包括蒸发段、隔热段、冷凝段和工质灌注段;所述隔热段与冷凝段由毛细管一体成型;所述蒸发段与隔热段之间的连接为焊接;所述工质灌注段的两个接口与三通管连通;所述蒸发段内壁的表面为颗粒状结构。蒸发段内壁的表面为颗粒状结构,降低了脉动热管启动所需的最低温度,即使在低热流密度下,脉动热管也能够顺利启动运行,同时也将有效地缩短启动时间,在电子元器件散热领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN103490585B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201310439362.6
申请日:2013-09-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种限制电场型平板电流体动力微泵及其制造方法。微泵由PCB电极片和顶盖通过硅胶胶粘而成,所述的PCB电极片是通过PCB丝网印刷,沉金,松香油涂覆,超精密磨削工艺加工制作。由于对电极对侧面产生的电场进行了限制,使得电场集中于电极表面,离子的拖拽作用都在电极表面完成,避免了电极结构对流体运动的阻挡,大幅提高电流体动力泵的动力效果。同时,采用PCB丝网印刷技术作为基础,不但提升了电流体动力泵极片的生产效率,还可大幅降低微泵制造成本,镀金层不但可以为电极提供良好的抗腐蚀能力,延长电极的使用寿命,因金具有较强电子发射能力,相比于硅电极还大幅提升了单位空间内的电场强度,进而提升微泵的动力性能。
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公开(公告)号:CN103490585A
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN201310439362.6
申请日:2013-09-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种限制电场型平板电流体动力微泵及其制造方法。微泵由PCB电极片和顶盖通过硅胶胶粘而成,所述的PCB电极片是通过PCB丝网印刷,沉金,松香油涂覆,超精密磨削工艺加工制作。由于对电极对侧面产生的电场进行了限制,使得电场集中于电极表面,离子的拖拽作用都在电极表面完成,避免了电极结构对流体运动的阻挡,大幅提高电流体动力泵的动力效果。同时,采用PCB丝网印刷技术作为基础,不但提升了电流体动力泵极片的生产效率,还可大幅降低微泵制造成本,镀金层不但可以为电极提供良好的抗腐蚀能力,延长电极的使用寿命,因金具有较强电子发射能力,相比于硅电极还大幅提升了单位空间内的电场强度,进而提升微泵的动力性能。
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公开(公告)号:CN203690286U
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201420028834.9
申请日:2014-01-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L23/473 , H01L23/36
Abstract: 本实用新型公开了一种具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器,硅基微通道换热器由硅基板和具有电流体动力微泵的氮化铝顶板通过键合密封而成,所述的硅基板表面通过反应离子蚀刻法蚀刻出微沟槽,形成冷却液丙酮的流动通道以及换热的场所,所述氮化铝顶板的电流体动力微泵通过激光雕刻、沉金或离子溅射、蒸镀工艺制作。由于电流体动力微泵具有流动稳定、运行可靠、流量控制精确、能耗低等特点,且能够与硅基微通道有效地集成到一体,有效的节省了微电子元器件内有限的空间,在微电子散热领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN203642757U
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201320773192.0
申请日:2013-11-28
Applicant: 华南理工大学
IPC: F28D15/02
Abstract: 本实用新型公开了一种具有粗化结构的脉动热管,脉动热管内灌注丙酮作为工质;所述脉动热管包括蒸发段、隔热段、冷凝段和工质灌注段;所述隔热段与冷凝段由毛细管一体成型;所述蒸发段与隔热段之间的连接为焊接;所述工质灌注段的两个接口与三通管连通;所述蒸发段内壁的表面为颗粒状结构。蒸发段内壁的表面为颗粒状结构,降低了脉动热管启动所需的最低温度,即使在低热流密度下,脉动热管也能够顺利启动运行,同时也将有效地缩短启动时间,在电子元器件散热领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN212314173U
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN202020586343.1
申请日:2020-04-20
Applicant: 华南理工大学
IPC: B65D6/18
Abstract: 本实用新型涉及一种可折叠重复使用的快递盒,包括盒本体,盒本体包括依次首尾铰接形成闭环的顶板、第一上侧板、第一下侧板、底板、第二下侧板和第二上侧板,第一上侧板与第二上侧板对应,第一下侧板与第二下侧板对应,顶板一端设有第三侧板,第三侧板一端铰接于顶板一端,第三侧板另一端盖合于底板一端,底板另一端设有第四侧板,第四侧板一端铰接于底板另一端,第四侧板另一端盖合于顶板另一端,第一上侧板与第一下侧板、第二上侧板与第二下侧板均设有互相吸引的第一磁铁,第三侧板另一端与底板一端设有互相吸引的第二磁铁,第四侧板另一端与顶板另一端设有互相吸引的第三磁铁。快递盒通过铰接的方式连接,可多次重复使用,延长了使用寿命。
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公开(公告)号:CN203457024U
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN201320591601.5
申请日:2013-09-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种限制电场型平板电流体动力微泵,微泵由PCB电极片和顶盖通过硅胶胶粘而成,所述的PCB电极片是通过PCB丝网印刷,沉金,松香油涂覆,超精密磨削工艺加工制作。由于对电极对侧面产生的电场进行了限制,使得电场集中于电极表面,离子的拖拽作用都在电极表面完成,避免了电极结构对流体运动的阻挡,大幅提高电流体动力泵的动力效果。同时,采用PCB丝网印刷技术作为基础,不但提升了电流体动力泵极片的生产效率,还可大幅降低微泵制造成本,镀金层不但可以为电极提供良好的抗腐蚀能力,延长电极的使用寿命,因金具有较强电子发射能力,相比于硅电极还大幅提升了单位空间内的电场强度,进而提升微泵的动力性能。
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