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公开(公告)号：CN117486165A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311470708.9
申请日：2023-11-07
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种具有隔热层的MEMS红外光源及其制备方法，属于半导体光电器件技术领域，包括从下至上依次连接的衬底、隔热薄膜、支撑薄膜、加热电阻和黑体辐射层；所述支撑薄膜包括外框、中心区域和悬臂，所述悬臂连接所述中心区域和所述外框，所述悬臂设有多个，两个相邻的所述悬臂之间形成圆角结构；本发明在支撑薄膜下方增加了隔热薄膜，当加热电阻通电升温后，热量通过支撑薄膜向衬底的热传导得到了有效的抑制，减少了热量的流失，提高了光源的能量利用率，圆角结构的支撑薄膜有效减少高温产生的应力的影响，增强光源的稳定性。
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