公开(公告)号：CN103754818A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410014636.1

申请日：2014-01-14

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘清惓 ,  高振翔 ,  刘恒 ,  葛益娴

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开一种具有真空腔的微机电系统露点传感器。该发明包括光源、光电探测器、测控电路和传感器主体。传感器主体包括第一基片、膜片、第一绝缘层、温度传感器、加热电阻、第二绝缘层、反射镜面、第二基片和制冷器。第一基片的正面刻蚀形成膜片，第一绝缘层置于膜片的正面，温度传感器和加热电阻分别置于第一绝缘层的正面，第二绝缘层置于第一绝缘层的正面并能够掩埋温度传感器和加热电阻，反射镜面形成于第二绝缘层的正面，第二基片键合于第一基片的背面且两者之间形成真空腔，制冷器与第二基片的背面连接。本发明还公开一种用于制造该露点传感器的方法。本发明创造性增加了真空腔结构，避免反射镜面的不规则变形，提高露点仪的检测精度。

公开(公告)号：CN103754818B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201410014636.1

申请日：2014-01-14

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘清惓 ,  高振翔 ,  刘恒 ,  葛益娴

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开一种具有真空腔的微机电系统露点传感器。该发明包括光源、光电探测器、测控电路和传感器主体。传感器主体包括第一基片、膜片、第一绝缘层、温度传感器、加热电阻、第二绝缘层、反射镜面、第二基片和制冷器。第一基片的正面刻蚀形成膜片，第一绝缘层置于膜片的正面，温度传感器和加热电阻分别置于第一绝缘层的正面，第二绝缘层置于第一绝缘层的正面并能够掩埋温度传感器和加热电阻，反射镜面形成于第二绝缘层的正面，第二基片键合于第一基片的背面且两者之间形成真空腔，制冷器与第二基片的背面连接。本发明还公开一种用于制造该露点传感器的方法。本发明创造性增加了真空腔结构，避免反射镜面的不规则变形，提高露点仪的检测精度。