公开(公告)号：CN114374145A

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202210030664.7

申请日：2022-01-12

Applicant: 南京大学

Inventor： 李密 ,  李安妮 ,  尹知谦 ,  陈向飞

IPC: H01S5/06

Abstract: 本发明公开了一种REC半导体激光器阵列波长控制系统，包括整体式TEC、测温电路、温度误差放大器、PID补偿电路、TEC驱动电路、独立式TEC、热敏电阻和热沉；独立式TEC、热敏电阻和热沉设置在激光器阵列芯片结构内部；TEC驱动电路先对设置在衬底底面上的整体式TEC施加电压，采用整体式TEC对整个激光器阵列芯片进行温度粗调，再对不满足目标温度电信号的激光器单元上的独立式TEC施加电压，采用独立式TEC对相应的激光器单元进行温度精调。本发明通过在激光器阵列芯片的外部和内部分别进行温度的粗调和精调，使得每个激光器通道均能输出稳定波长的光束，实现对波长间隔的精确控制。

公开(公告)号：CN114374145B

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202210030664.7

申请日：2022-01-12

Applicant: 南京大学

Inventor： 李密 ,  李安妮 ,  尹知谦 ,  陈向飞

IPC: H01S5/06

Abstract: 本发明公开了一种REC半导体激光器阵列波长控制系统，包括整体式TEC、测温电路、温度误差放大器、PID补偿电路、TEC驱动电路、独立式TEC、热敏电阻和热沉；独立式TEC、热敏电阻和热沉设置在激光器阵列芯片结构内部；TEC驱动电路先对设置在衬底底面上的整体式TEC施加电压，采用整体式TEC对整个激光器阵列芯片进行温度粗调，再对不满足目标温度电信号的激光器单元上的独立式TEC施加电压，采用独立式TEC对相应的激光器单元进行温度精调。本发明通过在激光器阵列芯片的外部和内部分别进行温度的粗调和精调，使得每个激光器通道均能输出稳定波长的光束，实现对波长间隔的精确控制。