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公开(公告)号：CN110596423A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910809511.0
申请日：2019-08-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种抗高过载的梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量、止挡结构、四个U形梁、两个M形梁、若干梳齿式极板。敏感质量、玻璃衬底和固定极板构成检测电容，同时U形梁、M形梁随着惯性力的作用频繁发生形变，带动敏感质量做出相应的位移响应，得到信号输出。通过惯性力公式和刚度公式，可求得与加速度计所连物体的加速度。本发明创新点在于：通过合理的止档结构设计，限制加速度计机械结构平面内两个方向的位移，防止机械结构在过大的冲击作用下发生破坏，并且通过在中间位置增加一对M形梁设计进一步提高刚度，增加机械结构的抗冲击能力，从而实现了加速度计在三个方向上都具有一定的抗高过载能力。
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公开(公告)号：CN111473090B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202010311667.9
申请日：2020-04-20
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于微惯性测量单元重复利用的抗高过载减振结构，包括外壳、内壳、缓冲垫圈、支撑架组件和若干个减振单元，外壳放置于工作平台上，内壳设置于外壳内，与内壳之间形成第一腔体，缓冲垫圈设置于第一腔体底部，用于缓冲，支撑架组件设置于第一腔体内，且位于缓冲垫圈顶面，用于固定和放置所述内壳，若干个减振单元设置在内壳内，分别沿待测微惯性测量单元的顶面周向和底面周向分布，且与内壳贴合。外壳和内壳之间的第一腔体用灌封胶灌封，从而提高微惯性测量单元的抗高过载能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110596423B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201910809511.0
申请日：2019-08-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种抗高过载的梳齿电容式单轴加速度计，包括玻璃衬底、固定极板、敏感质量、止挡结构、四个U形梁、两个M形梁、若干梳齿式极板。敏感质量、玻璃衬底和固定极板构成检测电容，同时U形梁、M形梁随着惯性力的作用频繁发生形变，带动敏感质量做出相应的位移响应，得到信号输出。通过惯性力公式和刚度公式，可求得与加速度计所连物体的加速度。本发明创新点在于：通过合理的止档结构设计，限制加速度计机械结构平面内两个方向的位移，防止机械结构在过大的冲击作用下发生破坏，并且通过在中间位置增加一对M形梁设计进一步提高刚度，增加机械结构的抗冲击能力，从而实现了加速度计在三个方向上都具有一定的抗高过载能力。
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公开(公告)号：CN109556589A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811625250.9
申请日：2018-12-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种抗高过载的双质量块音叉角速率陀螺仪，通过合理的止档结构设计，限制驱动模态方向和检测模态方向的位移，防止机械结构在过大的冲击作用下发生破坏，并且通过对质量块连接结构的改进设计进一步提高结构面外的刚度，增加结构面外的抗冲击能力，从而实现了陀螺在三个方向上都具有一定的抗高过载能力。所述陀螺仪的结构增加了梳齿宽度、减小了梳齿长度、增加了梳齿间隙以及两端对称布置梳齿对等优化设计，避免由于高过载作用引起的梳齿断裂和粘附失效。所述陀螺仪的止档结构合理利用陀螺机械结构外的单晶硅圆片设计的，经济合理，且与机械结构一同刻蚀加工，降低了具有抗高过载能力的微机械陀螺的加工难度。
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公开(公告)号：CN111473090A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010311667.9
申请日：2020-04-20
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于微惯性测量单元重复利用的抗高过载减振结构，包括外壳、内壳、缓冲垫圈、支撑架组件和若干个减振单元，外壳放置于工作平台上，内壳设置于外壳内，与内壳之间形成第一腔体，缓冲垫圈设置于第一腔体底部，用于缓冲，支撑架组件设置于第一腔体内，且位于缓冲垫圈顶面，用于固定和放置所述内壳，若干个减振单元设置在内壳内，分别沿待测微惯性测量单元的顶面周向和底面周向分布，且与内壳贴合。外壳和内壳之间的第一腔体用灌封胶灌封，从而提高微惯性测量单元的抗高过载能力。
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公开(公告)号：CN109556589B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN201811625250.9
申请日：2018-12-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种抗高过载的双质量块音叉角速率陀螺仪，通过合理的止档结构设计，限制驱动模态方向和检测模态方向的位移，防止机械结构在过大的冲击作用下发生破坏，并且通过对质量块连接结构的改进设计进一步提高结构面外的刚度，增加结构面外的抗冲击能力，从而实现了陀螺在三个方向上都具有一定的抗高过载能力。所述陀螺仪的结构增加了梳齿宽度、减小了梳齿长度、增加了梳齿间隙以及两端对称布置梳齿对等优化设计，避免由于高过载作用引起的梳齿断裂和粘附失效。所述陀螺仪的止档结构合理利用陀螺机械结构外的单晶硅圆片设计的，经济合理，且与机械结构一同刻蚀加工，降低了具有抗高过载能力的微机械陀螺的加工难度。
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公开(公告)号：CN209446068U
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201822232600.7
申请日：2018-12-28
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本实用新型公开了一种抗高过载的双质量块音叉角速率陀螺仪，通过合理的止档结构设计，限制驱动模态方向和检测模态方向的位移，防止机械结构在过大的冲击作用下发生破坏，并且通过对质量块连接结构的改进设计进一步提高结构面外的刚度，增加结构面外的抗冲击能力，从而实现了陀螺在三个方向上都具有一定的抗高过载能力。所述陀螺仪的结构增加了梳齿宽度、减小了梳齿长度、增加了梳齿间隙以及两端对称布置梳齿对等优化设计，避免由于高过载作用引起的梳齿断裂和粘附失效。所述陀螺仪的止档结构合理利用陀螺机械结构外的单晶硅圆片设计的，经济合理，且与机械结构一同刻蚀加工，降低了具有抗高过载能力的微机械陀螺的加工难度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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